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公开(公告)号：JP2021072395A
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：JP2019199320
申请日：2019-10-31
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】切断品のサイズが小さい場合でも、洗浄効率を高めることができる洗浄モジュール、切断装置及び切断品の製造方法を提供する。 【解決手段】パッケージ基板が切断されて形成された複数の切断品Saを収容する容器21と、容器21を回転させる回転機構22と、容器21内に洗浄液を供給する給液機構23と、容器21内の洗浄液を排出する排液機構24と、を備え、複数の切断品Saは、洗浄液に浸漬された状態で回転機構22により回転させた容器21内で洗浄される。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JP6746756B1
公开(公告)日：2020-08-26
申请号：JP2019097980
申请日：2019-05-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B23Q3/08 , H01L21/683 , B24B41/06 , H01L21/301
Abstract: 【課題】応力を受けたとしても撓み等の変形が発生しにくい吸着プレートを得る。 【解決手段】吸着プレート10は、枠部16と複数のリブ部17A,17Bとを有するベース部15と、複数のリブ部17A,17Bに重なるように配置され複数の吸着孔12Hが形成された載置部12とを備え、複数のリブ部17A,17B同士が交差している部分の一部は、基台21が配置される側に向かって突出している。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2020068294A
公开(公告)日：2020-04-30
申请号：JP2018200201
申请日：2018-10-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B28D7/04 , B28D5/02 , B26D7/20 , B23Q3/08 , H01L21/301
Abstract: 【課題】吸着ムラを低減することが可能であるとともに、長期間使用することが可能な吸着機構、切断装置および切断品の製造方法を提供する。 【解決手段】吸着機構(100)は、チャンバ(34)と、チャンバ(34)内のジグ(33)と、ジグ(33)上の吸着部(31)とを備えている。ジグ(33)はメタルフォームを備える。切断装置(B)は、吸着機構(100)を備える。切断品の製造方法は、切断装置(B)により切断対象物(5)を切断する工程と、切断する工程において切断された切断対象物(5)を吸着機構(100)により吸着して搬送する工程とを備える。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2021072396A
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：JP2019199321
申请日：2019-10-31
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G53/08 , B65G53/30 , H01L21/301
Abstract: 【課題】複数の切断品を確実に搬送できる搬送モジュール、切断装置及び切断品の製造方法を提供する。 【解決手段】切断テーブル12b上に配置され、パッケージ基板Sが切断されて形成された複数の切断品Saと接触しながら移動可能な移動体44と、移動体44を駆動させる駆動機構46と、複数の切断品Saを移送する移送機構47と、を備え、移送機構47は、移動体44と接触した切断品Saを移動体44により切断テーブル12bから引き離して移送する。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2020194823A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019097980
申请日：2019-05-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B23Q3/08 , H01L21/683 , B24B41/06 , H01L21/301
Abstract: 【課題】応力を受けたとしても撓み等の変形が発生しにくい吸着プレートを得る。 【解決手段】吸着プレート10は、枠部16と複数のリブ部17A,17Bとを有するベース部15と、複数のリブ部17A,17Bに重なるように配置され複数の吸着孔12Hが形成された載置部12とを備え、複数のリブ部17A,17B同士が交差している部分の一部は、基台21が配置される側に向かって突出している。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2021097093A
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：JP2019226092
申请日：2019-12-16
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B26D7/00 , B28D7/00 , H01L21/301
Abstract: 【課題】後工程における高度な生産管理の実現のために用いられるデータを生成可能な統計データ生成方法、切断装置及びシステムを提供する。 【解決手段】統計データ生成方法は、パッケージ基板を切断することによって生産されたパッケージ部品の検査の結果情報を含む検査データを集約するステップと、集約された検査データに基づいて、統計データを生成するステップとを含む。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021021592A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：JP2019136848
申请日：2019-07-25
Applicant: TOWA株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 【課題】電子部品の検査精度を向上する。 【解決手段】電子部品Wx又は電子部品Wxが載置される載置部材5の一方が蛍光物質を含有しており、載置部材5に載置された電子部品Wxを撮像して検査する検査システム100Cであって、電子部品Wx及び載置部材5に蛍光物質の励起光を照射する励起光照明装置6と、電子部品Wx又は載置部材5から生じる蛍光又は蛍光以外の光を選択的に撮像する撮像装置7とを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019051645A
公开(公告)日：2019-04-04
申请号：JP2017177223
申请日：2017-09-15
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/673 , B29C33/42 , B29C43/18 , B29C43/34
Abstract: 【課題】製造コストを増大させることなく、製品を保持する保持部材を製造する。 【解決手段】BGA パッケージ19が保持される保持部材35を製造する保持部材の製造方法であって、第1の幅w2を有する複数の溝部23を主面に有する成形型27を準備する工程と、成形型27を樹脂材料29に対向して配置する工程と、成形型27の主面を樹脂材料29に押し付ける工程と、樹脂材料29を硬化させて硬化樹脂30を形成することによって硬化樹脂30を含む成形品31を成形する工程と、成形型27から成形品31を取り外す工程とを備える。保持部材35は、複数の溝部23が硬化樹脂30に転写されることによって形成された複数の壁部33と、複数の壁部33に取り囲まれた凹部32と、凹部32に形成された貫通穴34とを備える。BGA パッケージ19は、Z方向に沿って見た場合にBGA パッケージ19が凹部32を包含するようにして、保持される。 【選択図】図3
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