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发明专利
光電子部品の製造方法、及び製造装置有权
Title translation: 制造光电元件，和制造设备的方法

公开(公告)号：JP5827604B2

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：JP2012173612

申请日：2012-08-06

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 岡田博和 , 宮川茂 , 蒲生喜代重 , 松尾真 , 高橋和宏 , 大西久喜

IPC: B29C43/18 , H01L33/52

CPC classification number: H01L24/97 , H01L2924/181 , H01L2924/1815

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