公开(公告)号：JP2021072395A

公开(公告)日：2021-05-06

申请号：JP2019199320

申请日：2019-10-31

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 宮田 和志 ,  黄 善夏 ,  石橋 幹司 ,  森下 慎也 ,  大西 将馬 ,  堀本 京太郎 ,  尾関 貴俊

IPC: B24B27/06 ,  B24B55/06 ,  B65G49/07 ,  B65G51/02 ,  B65G51/04 ,  B08B3/06 ,  B08B3/04 ,  H01L21/301

Abstract: 【課題】切断品のサイズが小さい場合でも、洗浄効率を高めることができる洗浄モジュール、切断装置及び切断品の製造方法を提供する。 【解決手段】パッケージ基板が切断されて形成された複数の切断品Saを収容する容器21と、容器21を回転させる回転機構22と、容器21内に洗浄液を供給する給液機構23と、容器21内の洗浄液を排出する排液機構24と、を備え、複数の切断品Saは、洗浄液に浸漬された状態で回転機構22により回転させた容器21内で洗浄される。 【選択図】図7

公开(公告)号：JP2020193830A

公开(公告)日：2020-12-03

申请号：JP2019098125

申请日：2019-05-24

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 礒野 早織 ,  昔 根鍋 ,  宮田 和志 ,  高森 雄大 ,  石橋 幹司 ,  黄 善夏

IPC: B26D7/27 ,  G01B21/00

Abstract: 【課題】複数の吸着穴のそれぞれに吸着保持された保持対象物のエッジ検出を精度よく行うことができる保持部材を提供する。 【解決手段】複数の保持対象物Sを保持し、光学的な検査に用いられる保持部材100であって、保持対象物を保持するように吸着する複数の吸着穴111、及び複数の吸着穴の間に配置された溝112が設けられた保持部と、溝に設けられ、保持部より反射率が高い反射部120と、を備え、反射部は平坦な表面を有する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2020194823A

公开(公告)日：2020-12-03

申请号：JP2019097980

申请日：2019-05-24

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 宮田 和志 ,  高森 雄大 ,  尾関 貴俊 ,  礒野 早織 ,  黄 善夏 ,  藤原 直己

IPC: B23Q3/08 ,  H01L21/683 ,  B24B41/06 ,  H01L21/301

Abstract: 【課題】応力を受けたとしても撓み等の変形が発生しにくい吸着プレートを得る。 【解決手段】吸着プレート10は、枠部16と複数のリブ部17A,17Bとを有するベース部15と、複数のリブ部17A,17Bに重なるように配置され複数の吸着孔12Hが形成された載置部12とを備え、複数のリブ部17A,17B同士が交差している部分の一部は、基台21が配置される側に向かって突出している。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP2020193981A

公开(公告)日：2020-12-03

申请号：JP2020132999

申请日：2020-08-05

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 礒野 早織 ,  昔 根鍋 ,  宮田 和志 ,  高森 雄大 ,  石橋 幹司 ,  黄 善夏

IPC: G01N21/84

Abstract: 【課題】複数の吸着穴のそれぞれに吸着保持された保持対象物のエッジ検出を精度よく行うことができる保持部材の製造方法を提供する。 【解決手段】複数の保持対象物を保持し、光学的な検査に用いられる保持部材の製造方法であって、前記保持対象物を保持するように吸着する複数の吸着穴の間に配置された溝が設けられた保持部に対して、前記溝の全体に樹脂を充填する樹脂充填工程と、前記樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、を含む保持部材の製造方法。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP6482618B2

公开(公告)日：2019-03-13

申请号：JP2017159274

申请日：2017-08-22

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 藤原 直己 ,  黄 善夏

IPC: B24B27/06 ,  B24B49/02 ,  B24B49/12 ,  H01L21/56 ,  H01L25/10 ,  H01L25/11 ,  H01L25/18 ,  H01L21/301

公开(公告)号：JP6968949B2

公开(公告)日：2021-11-24

申请号：JP2020132999

申请日：2020-08-05

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 礒野 早織 ,  昔 根鍋 ,  宮田 和志 ,  高森 雄大 ,  石橋 幹司 ,  黄 善夏

IPC: G01B21/00

公开(公告)号：JP6952737B2

公开(公告)日：2021-10-20

申请号：JP2019098125

申请日：2019-05-24

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 礒野 早織 ,  昔 根鍋 ,  宮田 和志 ,  高森 雄大 ,  石橋 幹司 ,  黄 善夏

IPC: G01B21/00

公开(公告)号：JP6746756B1

公开(公告)日：2020-08-26

申请号：JP2019097980

申请日：2019-05-24

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 宮田 和志 ,  高森 雄大 ,  尾関 貴俊 ,  礒野 早織 ,  黄 善夏 ,  藤原 直己

IPC: B23Q3/08 ,  H01L21/683 ,  B24B41/06 ,  H01L21/301

Abstract: 【課題】応力を受けたとしても撓み等の変形が発生しにくい吸着プレートを得る。 【解決手段】吸着プレート10は、枠部16と複数のリブ部17A,17Bとを有するベース部15と、複数のリブ部17A,17Bに重なるように配置され複数の吸着孔12Hが形成された載置部12とを備え、複数のリブ部17A,17B同士が交差している部分の一部は、基台21が配置される側に向かって突出している。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP2020068294A

公开(公告)日：2020-04-30

申请号：JP2018200201

申请日：2018-10-24

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 尾関 貴俊 ,  宮田 和志 ,  黄 善夏 ,  石橋 幹司

IPC: B28D7/04 ,  B28D5/02 ,  B26D7/20 ,  B23Q3/08 ,  H01L21/301

Abstract: 【課題】吸着ムラを低減することが可能であるとともに、長期間使用することが可能な吸着機構、切断装置および切断品の製造方法を提供する。 【解決手段】吸着機構(100)は、チャンバ(34)と、チャンバ(34)内のジグ(33)と、ジグ(33)上の吸着部(31)とを備えている。ジグ(33)はメタルフォームを備える。切断装置(B)は、吸着機構(100)を備える。切断品の製造方法は、切断装置(B)により切断対象物(5)を切断する工程と、切断する工程において切断された切断対象物(5)を吸着機構(100)により吸着して搬送する工程とを備える。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP6506797B2

公开(公告)日：2019-04-24

申请号：JP2017114376

申请日：2017-06-09

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高森 雄大 ,  黄 善夏

IPC: B24B53/02 ,  B24B55/02 ,  B24B7/04 ,  H01L21/304 ,  B24B53/007