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公开(公告)号：JP2021040111A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019162315
申请日：2019-09-05
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/3065 , H02N13/00 , C23C16/458 , H01L21/683
Abstract: 【課題】第1電極層におけるプラズマ密度の面内均一性を高めるとともに、第1電極層において電界集中による絶縁破壊が生じることを抑制できる静電チャックを提供する。 【解決手段】第1、第2主面を有するセラミック誘電体基板と、ベースプレートと、セラミック誘電体基板の内部に設けられる第1、第2電極層と、を備え、第1電極層は第1主面と第2主面との間に設けられ、第2主面側から給電され、第2電極層は第1電極層と第1主面との間に設けられ、第1電極層は中央側に位置する第1部分と外周側に位置する第2部分とを有し、第1部分は第1、第2面を有し、第2部分は第3、第4面を有し、第3面は第1面と第2電極層との間に位置し、第4面と第1主面との間の距離は一定であり、第2部分の端部における第3面と第4面との間の距離は、第2部分の中央部における第3面と第4面との間の距離よりも小さいことを特徴とする静電チャック。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021040112A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019162316
申请日：2019-09-05
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/3065 , H02N13/00 , C23C16/458 , H01L21/683
Abstract: 【課題】プラズマ密度の面内均一性を高めることができる静電チャックを提供する。 【解決手段】第1、第2主面を有するセラミック誘電体基板と、ベースプレートと、セラミック誘電体基板の内部に設けられる第1、第2電極層と、を備え、第1電極層は第1主面と第2主面との間に設けられ、第2主面側から給電され、第2電極層は第1電極層と第1主面との間に設けられ、第1電極層は中央側に位置する第1部分と外周側に位置する第2部分とを有し、第1部分は第1、第2面を有し、第2部分は第3、第4面を有し、第3面は第1面と第2電極層との間に位置し、第3面と第1主面との間の距離は一定であり、第2部分の端部における第3面と第4面との間の距離は、第2部分の中央部における第3面と第4面との間の距離よりも小さいことを特徴とする静電チャック。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021040109A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019162313
申请日：2019-09-05
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/3065 , H02N13/00 , C23C16/458 , H01L21/683
Abstract: 【課題】プラズマ密度の面内均一性を高めることができる静電チャックを提供する。 【解決手段】第1、第2主面を有するセラミック誘電体基板と、ベースプレートと、セラミック誘電体基板の内部に設けられる第1、第2電極層と、を備え、第1電極層はZ軸方向において第1主面と第2主面との間に設けられ、第2主面側から給電され、第2電極層はZ軸方向において第1電極層と第1主面との間に設けられ、第1電極層は第1電極層の中央側に位置する第1部分と第1部分よりも外周側に位置する第2部分とを有し、第1部分は第1主面側の第1面と第1面とは反対側の第2面とを有し、第2部分は、第1主面側の第3面と第3面とは反対側の第4面とを有し、第3面はZ軸方向において第1面と第2電極層との間に位置し、第1面の電気抵抗は第1部分の平均電気抵抗よりも大きいことを特徴とする静電チャック。 【選択図】図1
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