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公开(公告)号：JP5192790B2
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：JP2007307391
申请日：2007-11-28
Applicant: Towa株式会社
Inventor： 康弘 岩田 , 周三 山地 , 真也 中嶋 , 準子 柏村 , 匡史 森澤
IPC: H01L21/56
CPC classification number: G01N21/95 , H01L21/56 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
公开(公告)号：JP5511154B2
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：JP2008155555
申请日：2008-06-13
Inventor： 秀和 東 , 匡史 森澤
CPC classification number: H01L21/561 , H01L24/97
公开(公告)号：JP4426731B2
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：JP2001011432
申请日：2001-01-19
Inventor： 匡史 森澤
IPC: H01L21/56 , H01L21/60
公开(公告)号：JP4467347B2
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：JP2004098000
申请日：2004-03-30
Applicant: Towa株式会社 , 株式会社ソディック
Inventor： 秀一 川田 , 滋 平田 , 一朗 新家 , 匡史 森澤
IPC: B23Q1/70 , H01L21/301
公开(公告)号：JP3795229B2
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：JP15855698
申请日：1998-05-22
Inventor： 孝希 久野 , 勝信 吉本 , 暢祐 岩田 , 一法 新田 , 匡史 森澤 , 浩 浦上 , 秀生 蔭山
IPC: H01L21/60
