公开(公告)号：JP5627619B2

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：JP2012041624

申请日：2012-02-28

Applicant: Towa株式会社

Inventor： 高瀬　慎二 ,  慎二 高瀬 ,  衛 砂田 ,  衛 砂田

IPC: B29C43/34 ,  B29C33/68 ,  B29C43/18 ,  B29C43/58 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/566 ,  H01L24/73 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/85 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00