公开(公告)号：DE112011100568T5

公开(公告)日：2012-12-13

申请号：DE112011100568

申请日：2011-02-15

Applicant: ULVAC INC

Inventor： NAKAJIMA TOYOAKI ,  KUROKAWA YUUJIROU ,  YURI TSUTOMU ,  TANAKA RYOTA

IPC: H01J49/42 ,  G01N27/62 ,  H01J41/04

Abstract: Ein Vierpol-Massenspektrometer zur Verwendung beim Analysieren von Gaskomponenten in einem Prüfkörper ist in einem Aufbau hergestellt, in dem Widerstandsheizung eines Gitters verwirklicht ist, und in dem eine hoch genaue Analyse der Gaskomponenten zu niedrigen Kosten möglich ist, während verhindert wird, dass sich die Empfindlichkeit verringert. Ein Vierpol-Massenspektrometer M1 ist geschaffen mit einem Sensorteil M1, der abnehmbar an dem Prüfkörper TP angebracht werden kann. Unter der Annahme, dass eine Anbringungsrichtung des Sensorteils am Prüfkörper in einer Aufwärtsrichtung liegt, sind am Sensorteil vorgesehen: eine vorgegebene Form des Trägerkörpers 1, der an einem unteren Ende des Sensorteils vorgesehen ist; eine Ionenquelle 2, die am Trägerkörper vorgesehen ist und einen Glühfaden 22 und ein Gitter 21 zum Ionisieren des Gases aufweist; ein Vierpol-Teil 3, der an der Ionenquelle vorgesehen ist, und in dem vier säulenförmige Elektroden 31 in einem vorgegebenen Umfangs-Abstand voneinander angeordnet sind; und ein Ionennachweisteil 4, der am Vierpol-Teil vorgesehen ist, und der vorgegebene Ionen sammelt, die durch Anlegen von Gleich- und Wechselspannungen zwischen gegenüberliegenden Elektroden durch den Vierpol-Teil geströmt sind.

公开(公告)号：DE112011100568B4

公开(公告)日：2017-01-19

申请号：DE112011100568

申请日：2011-02-15

Applicant: ULVAC INC

Inventor： NAKAJIMA TOYOAKI ,  KUROKAWA YUUJIROU ,  YURI TSUTOMU ,  TANAKA RYOTA

IPC: H01J49/42 ,  G01N27/62 ,  H01J41/10

Abstract: Vierpol-Massenspektrometer, das in der Lage ist, Gaskomponenten eines Gases in einem Prüfkörper (TP) zu analysieren, wobei das Vierpol-Massenspektrometer einen Sensorteil (M1) und einen rohrförmigen Körper (P) umfasst, der den Sensorteil (M1) umgibt, wobei der Körper (P) eingerichtet ist, abnehmbar an dem Prüfkörper (TP) angebracht zu werden, wobei der Körper (P) ein erstes mit dem Prüfkörper (TP) zu verbindendes Ende (P1) und ein zweites Ende (P2) umfasst; wobei der Sensorteil (M1) umfasst: eine vorgegebene Form eines Trägerkörpers (1), der an das zweite Ende (P2) des Körpers (P) montiert ist; Anschlussklemmen (23a, 23b, 24a, 24b) , die den Trägerkörper (1) durchdringen, eine Ionenquelle (2), die innerhalb des Körpers (P) am Trägerkörper (1) angeordnet ist und einen Glühfaden (22) und ein Gitter (21) zum Ionisieren des Gases aufweist; einen Vierpol-Teil (3), der innerhalb des Körpers (P) und zwischen der Ionenquelle (2) und dem ersten Ende (P1) des Körpers (P) angeordnet ist und in dem vier säulenförmige Elektroden (31) in einem vorgegebenen Umfangs-Abstand voneinander angeordnet sind; und einen Ionennachweisteil (4), der innerhalb des Körpers (P) zwischen dem Vierpol-Teil (3) und dem ersten Ende (P1) des Körpers (P) angeordnet ist, um vorgegebene Ionen zu sammeln, die durch Anlegen von Gleich- und Wechselspannungen zwischen gegenüberstehenden Elektroden (31) durch den Vierpol-Teil (3) strömen, wobei freie Enden des Glühfadens (22) und des Gitters (21) direkt an die Anschlussklemmen (23a, 23b, 24a, 24b) angeschlossen sind.