公开(公告)号：DE112005001539B4

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：DE112005001539

申请日：2005-06-28

Applicant: ULVAC INC

Inventor： TAKAHASHI SEIICHI ,  MIYAYA TAKEHISA ,  LIM SOO BOO ,  SATOU MASAYUKI ,  TSUTSUMI KENGO ,  ONO YOHEI

IPC: H01L21/67 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54

Abstract: Vakuumbearbeitungsvorrichtung, umfassend: eine Bearbeitungskammer (20) zur Bearbeitung eines Substrats in einer Vakuumatmosphäre; eine Ein- und Ausbringkammer (10), die mit der Bearbeitungskammer (20) in einer über der Bearbeitungskammer (20) befindlichen Position verbindbar ist, wobei das Substrat zwischen der Ein- und Ausbringkammer (10) und der Bearbeitungskammer (20) transportabel ist, ohne der äußeren Atmosphäre ausgesetzt zu sein, wobei die Ein- und Ausbringkammer (10) das Substrat aus einer äußeren Atmosphäre transportieren kann, wobei die Ein- und Ausbringkammer (10) in der Position über der Bearbeitungskammer (20) befestigt ist, wobei die Bearbeitungskammer (20) von der Ein- und Ausbringkammer (10) entfernbar ist, indem die Bearbeitungskammer (20) vertikal absenkbar ist, während das vertikale Anordnungsverhältnis zwischen der Bearbeitungskammer (20) und der Ein- und Ausbringkammer (10) beibehalten wird, und ein Beförderungsmittel (30), das mit der Bearbeitungskammer (20) verbunden ist und das die Bearbeitungskammer (20) horizontal befördert, nachdem die Bearbeitungskammer (20) von der Ein-...

公开(公告)号：DE112005001539T5

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：DE112005001539

申请日：2005-06-28

Applicant: ULVAC INC

Inventor： TAKAHASHI SEIICHI ,  MIYAYA TAKEHISA ,  LIM SOO BOO ,  SATOU MASAYUKI ,  TSUTSUMI KENGO ,  ONO YOHEI

IPC: H01L21/3065