公开(公告)号：WO1987001438A1

公开(公告)日：1987-03-12

申请号：PCT/US1986001798

申请日：1986-09-02

Applicant: UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION

Inventor： UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION ,  WATERS, James, P. ,  FERNALD, Mark, R.

IPC: G01B09/02

CPC classification number: G01B9/02065 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0226

Abstract: A common optical path interferometric gauge comprises an optical beam (14) that is split into two beams. Both beams are modulated and recombined after introducing an optical path length difference greater than the coherence length of the optical source (12). The combined beam is guided along a common optical path (46) and is subsequently split into reference and measurement beams. The measurement beam is guided along a measurement optical path that includes a moving workpiece surface (60). Both beams are recombined after interposing an optical path length difference therebetween so as to reestablish coherence between portions thereof producing optical interference indicative of the surface (60) movement.

公开(公告)号：EP0241512B1

公开(公告)日：1992-04-01

申请号：EP86906044.2

申请日：1986-09-02

Applicant: UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION

Inventor： WATERS, James, P. ,  FERNALD, Mark, R.

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02065 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0226

Abstract: A common optical path interferometric gauge comprises an optical beam (14) that is split into two beams. Both beams are modulated and recombined after introducing an optical path length difference greater than the coherence length of the optical source (12). The combined beam is guided along a common optical path (46) and is subsequently split into reference and measurement beams. The measurement beam is guided along a measurement optical path that includes a moving workpiece surface (60). Both beams are recombined after interposing an optical path length difference therebetween so as to reestablish coherence between portions thereof producing optical interference indicative of the surface (60) movement.

公开(公告)号：EP0241512A1

公开(公告)日：1987-10-21

申请号：EP86906044.0

申请日：1986-09-02

Applicant: UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION

Inventor： WATERS, James, P. ,  FERNALD, Mark, R.

IPC: G01B9 ,  G01J9

CPC classification number: G01B9/02065 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0226

Abstract: Une jauge interférométrique à chemin optique commun comprend un faisceau optique (14) qui est divisé en deux faisceaux. Les deux faisceaux sont modulés et combinés après introduction d'une différence de longueur de chemin optique supérieure à la longueur de cohérence de la source optique (12). Le faisceau combiné est guidé le long d'un chemin optique commun (46) et divisé ultérieurement en des faisceaux de référence et de mesure. Le faisceau de mesure est guidé le long d'un chemin optique de mesure qui comprend une surface d'une pièce à usiner en mouvement (60). Les deux faisceaux sont recombinés après interposition d'une différence de longueur de chemin optique entre les deux de manière à rétablir la cohérence entre leurs portions pour produire une interférence optique indiquant le mouvement de la surface (60).