激光定域辐照样品表面动态过程的电镜检测方法和装置

    公开(公告)号:CN107247039A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201710546388.9

    申请日:2017-07-06

    Inventor: 于艳玲 魏鑫磊

    Abstract: 本发明提供了一种激光定域辐照样品表面动态过程的电镜检测方法和装置,包括:将聚焦激光束引入扫描电镜的样品室;将样品放置在扫描电镜的样品台上,并调节电子束的聚焦位置以及激光束光路,使得聚焦激光束的焦点和电子束的焦点重合,且聚焦激光束的入射方向与电子束的入射方向之间有一夹角;采用扫描电镜对样品进行观察检测;同时或者延迟输出聚焦激光束对样品表面进行定域辐照;通过扫描电镜实时检测激光辐照下的物质结构动态变化;关闭激光;结束扫描电镜操作。本发明通过对样品微小局部进行激光定域辐照,可对激光辐照的微区产生可控的极速加热、熔化、升华等物态变化,对腔室几乎不会产生污染,可研究样品在熔点以上物质结构动态变化过程。

    像面形态可调的光学相干层析方法及系统

    公开(公告)号:CN106821323A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710094253.3

    申请日:2017-02-21

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 陈宇恒

    Abstract: 本发明公开了一种像面形态可调的光学相干层析方法及其系统。系统在样品臂采用衍射器件实现光谱译码,使光信号在垂轴方向的不同位置获得不同的译码波长;在参考臂采用色散控制器件对不同译码波长的参考光进行独立的色散控制,实现光学相干层析像面形态的调节。本发明提供的技术方案克服了现有光学层析成像技术存在的像面形态单一和三维视场形态受限的缺陷,能在光学相干层析中实现像面形态的设定与视场调适,硬件开销低,不增加成像系统在生物组织中内窥部分的尺寸和体积,特别适用于精细腔道内部和侧旁生物样品断层信息的采集要求;同时,还兼备色散精确匹配的能力,有利于保证光学相干层析的纵向分辨率。

    一种青铜器表面及亚表面微缺陷检测方法及系统

    公开(公告)号:CN106546604A

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201610940787.9

    申请日:2016-11-02

    Applicant: 山西大学

    Inventor: 雷水 陈小三

    Abstract: 本发明涉及青铜器表面及亚表面微缺陷检测方法及系统,所述检测方法包括以下步骤:PLC控制两激光器同时发出两束中心频率不同的激光,通过光路系统集成作用于待测含缺陷青铜器表面的同一点;在待测青铜器受激光辐射同侧表面放置电容式位移传感器测量激光激发超声信号;接收的超声信号经数据采集系统集成存储于数据处理系统用于频率分析使用;通过数据处理系统集成可以对青铜器表面或亚表面存在的缺陷进行二维平面成像检测;进而可以对缺陷深度进行检测。本发明方法及其系统能够扫描检测到青铜器表面或亚表面缺陷的三维位置及尺寸信息,具有高效率、高精度、对被测体无损伤等优点。

    一种样品空间扫描及定位装置

    公开(公告)号:CN106198407A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610532956.5

    申请日:2016-07-07

    Abstract: 一种样品空间扫描及定位装置,其包括:底座,第一位移台,可滑动的固接于底座上,能够相对于底座在第一方向上移动;第二位移台,可滑动的固接于所述第一位移台,能够相对于第一位移台在第二方向上移动;第三位移台,可滑动的固接于所述第二位移台,能够相对于第二位移台在第三方向上移动;以及光路系统,用于光谱测量的激发和收集,采用三个位移台的联动设计使样品光谱收集物镜和光路实现同步三维空间移动,使光谱测量更加方便和高效。

    Apparatus and method for inspecting pattern
    7.
    发明授权
    Apparatus and method for inspecting pattern 失效
    用于检查图案的装置和方法

    公开(公告)号:US07446866B2

    公开(公告)日:2008-11-04

    申请号:US11488620

    申请日:2006-07-19

    Abstract: An apparatus for inspecting defects including a table which mounts a specimen to be inspected and which is movable in a plane, an ultraviolet light source for emitting ultraviolet light, an illuminating unit for illuminating the specimen mounted on the table with light emitted from the ultraviolet light source, a detecting unit for forming an image of the specimen illuminated by the illuminating unit and for detecting the image with an image sensor, and an image processing unit for processing the image detected by the image sensor and for outputting information about defects detected on the specimen. The illuminating unit and detecting unit are disposed in a clean environment which is supplied therein with clean gas and which is separated from outside by a wall.

    Abstract translation: 一种用于检查缺陷的装置,包括安装待检查样本并且可在平面中移动的台面,用于发射紫外线的紫外光源的照明单元,用于对从紫外线发射的光照射安装在桌子上的样本的照明单元 源,用于形成由所述照明单元照射的所述样本的图像并且用图像传感器检测图像的检测单元,以及图像处理单元,用于处理由所述图像传感器检测到的图像,并且用于输出关于在所述图像传感器上检测到的缺陷的信息; 标本。 照明单元和检测单元设置在清洁的环境中,其中提供有清洁的气体并且由壁与外部分离。

    APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING PATTERN
    9.
    发明申请
    APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING PATTERN 有权
    用于检查图案的装置和方法

    公开(公告)号:US20120176602A1

    公开(公告)日:2012-07-12

    申请号:US13423862

    申请日:2012-03-19

    Abstract: A method and apparatus for inspecting defects includes emitting an ultraviolet light from an ultraviolet light source, illuminating a specimen with the ultraviolet light in which a polarization condition of the ultraviolet light is controlled, controlling a polarization condition of light reflected from the specimen which is illuminated by the polarization condition controlled ultraviolet light, detecting the light reflected from the specimen, processing the detected light so as to detect defects, and outputting information about the defects. The ultraviolet light source is disposed in a clean environment supplied with clean gas and separated from outside.

    Abstract translation: 用于检查缺陷的方法和装置包括从紫外光源发射紫外光,用受紫外光的偏振条件的紫外线照射样本,控制从被照射的样本反射的光的偏振状态 通过偏光条件控制的紫外光,检测从样本反射的光,处理检测到的光以检测缺陷,并输出关于缺陷的信息。 紫外光源设置在清洁环境中,并提供清洁气体并与外界分离。

    APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING PATTERN
    10.
    发明申请
    APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING PATTERN 失效
    用于检查图案的装置和方法

    公开(公告)号:US20110170092A1

    公开(公告)日:2011-07-14

    申请号:US13069091

    申请日:2011-03-22

    Abstract: A method and apparatus for inspecting defects includes emitting an ultraviolet light from an ultraviolet light source, illuminating a specimen with the ultraviolet light in which a polarization condition of the ultraviolet light is controlled, controlling a polarization condition of light reflected from the specimen which is illuminated by the polarization condition controlled ultraviolet light, detecting the light reflected from the specimen, processing the detected light so as to detect defects, and outputting information about the defects. The ultraviolet light source is disposed in a clean environment supplied with clean gas and separated from outside.

    Abstract translation: 用于检查缺陷的方法和装置包括从紫外光源发射紫外光,用受紫外光的偏振条件的紫外线照射样本,控制从被照射的样本反射的光的偏振状态 通过偏光条件控制的紫外光,检测从样本反射的光,处理检测到的光以检测缺陷,并输出关于缺陷的信息。 紫外光源设置在清洁环境中,并提供清洁气体并与外界分离。

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