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公开(公告)号：CN103582928B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201280027020.7
申请日：2012-05-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/04 , H01J43/246 , H01J43/28
Abstract: 电子倍增器（100）具备：绝缘性基板（11），具有电配线图案（20）并形成有贯通孔（16）；MCP（12），配置在绝缘性基板（11）的贯通孔（16）的一侧并电连接于电配线图案（20）；屏蔽板（13），配置在MCP（12）的一侧并电连接于MCP（12）；阳极（15），配置在贯通孔（16）的另一侧并电连接于电配线图案（20）；以及信号读出端子（19），固定于绝缘性基板（11）并用于从阳极（15）读出信号。屏蔽板（13）以从厚度方向看包含MCP（12）的形式形成。在屏蔽板（13），形成有使MCP（12）的至少一部分露出的贯通孔（27）。绝缘性基板（11）、MCP（12）、屏蔽板（13）和阳极（15）以成为一体的形式相互固定。
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公开(公告)号：CN105555044A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510902826.1
申请日：2015-12-09
CPC classification number: H05K3/06 , H01J9/00 , H01J43/04 , H05K2203/074 , H05K2203/0793
Abstract: 本发明公开了一种井型气体电子倍增膜板及其制作方法和应用，其中井型气体电子倍增膜板从上至下依次包括：上覆铜层、绝缘基板和读出阳极板，上覆铜层和绝缘基板上均形成有孔阵列，并且上覆铜层的孔径比绝缘基板上的孔径稍大，绝缘基板露出上覆铜层的部分形成rim绝缘环，rim绝缘环的宽度为10-100μm，读出阳极板上无孔，整个井型气体电子倍增膜板呈现出盲孔阵列。本发明的有益之处在于：井型气体电子倍增膜板的增益均匀性更好，相同的气体和电压条件下可获得更高的增益；可与THGEM膜构成多级倍增气体探测器，以获得更高的气体增益，满足不同实验的需求。
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公开(公告)号：CN103582928A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280027020.7
申请日：2012-05-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/04 , H01J43/246 , H01J43/28
Abstract: 电子倍增器（100）具备：绝缘性基板（11），具有电配线图案（20）并形成有贯通孔（16）；MCP（12），配置在绝缘性基板（11）的贯通孔（16）的一侧并电连接于电配线图案（20）；屏蔽板（13），配置在MCP（12）的一侧并电连接于MCP（12）；阳极（15），配置在贯通孔（16）的另一侧并电连接于电配线图案（20）；以及信号读出端子（19），固定于绝缘性基板（11）并用于从阳极（15）读出信号。屏蔽板（13）以从厚度方向看包含MCP（12）的形式形成。在屏蔽板（13），形成有使MCP（12）的至少一部分露出的贯通孔（27）。绝缘性基板（11）、MCP（12）、屏蔽板（13）和阳极（15）以成为一体的形式相互固定。
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公开(公告)号：CN100555553C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200580004703.0
申请日：2005-02-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明涉及具有用于可容易地实现高检测精度和微细加工的构造的光电倍增器及其制造方法。该光电倍增器(1a)具备内部维持在真空的外围器(2，3，4)，在该外围器(2，3，4)内配置有根据入射光而放出电子的光电面(22)、将从该光电面(22)放出的电子串级倍增的电子倍增部(31)、用于取出由该电子倍增部(31)生成的二次电子的阳极(32)。上述外围器(2，3，4)的一部分由具有平坦部的玻璃基板(20，40)构成，在该玻璃基板(20，40)上的平坦部上以二维方式分别配置有上述电子倍增部(31)和阳极(32)。
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公开(公告)号：CN100446169C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN99806912.4
申请日：1999-06-01
Applicant: 滨松光子学株式会社
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/06 , G01N2223/419 , H01J43/04 , H01J43/28
Abstract: 本发明的光电倍增管具有放出电子的光电面，在密封容器内具有使来自光电面的电子倍增的电子倍增部，送出输出信号的阳极，密封容器由固定电子倍增部及阳极的底座，在包围电子倍增部及阳极的同时还将底座固定在一侧开口端上的截面为大致四边形的金属侧管，固定在侧管另一侧开口端上的受光面板构成；使侧管的下端内壁面接触底座的边缘面，底座的至少包括与侧管的下端内壁面接触的边缘面在内的部分是金属制成的，侧管和底座焊接在一起，保持密封容器内部的真空。可以缩小光电倍增管的外形尺寸，在并排利用光电倍增管的场合中，能够使侧管之间紧密连接在一起。因而，在通过焊接组装金属底座片与金属侧管的情况下的光电倍增管的高密度排列成为可能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1304543A
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN99806917.5
申请日：1999-06-01
Applicant: 滨松光子学株式会社
IPC: H01J43/28
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/06 , G01N2223/419 , H01J43/04 , H01J43/28
Abstract: 为了实现光电倍增管的小型化,在使金属制的侧管2的外壁面2b与杆板4的边缘面4b成为同一平面的状态下,熔接固定侧管2与杆板4,在光电倍增管1的下端没有凸缘那样的突出。从而,虽然难以进行电阻熔接,然而能够缩小光电倍增管1的外形尺寸,在并排利用光电倍增管的情况下,能够使侧管2之间密切相邻。由此,能够实现通过激光熔接组装了金属制的杆板4与金属制的侧管2的光电倍增管1的高密度排列。
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公开(公告)号：CN107785227A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710805743.X
申请日：2017-09-08
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板。该微通道板包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；其改进之处是：每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％；输入电极的表面覆盖有具有高二次电子发射系数的薄膜。本发明的微通道板微通道开口面积大，增加了电子进入通道的概率，提高了收集效率；电极表面覆盖的高二次电子发射材料薄膜能够减少落在电极表面的电子损失的概率，进一步提高了收集效率。
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公开(公告)号：CN107785223A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610731904.0
申请日：2016-08-26
Applicant: 刘荣伟
Inventor： 刘荣伟
CPC classification number: H01J43/04 , H01J43/246 , H01J43/28
Abstract: 本发明公开了一种微通道孔径可变的改进型微通道板，包括主体，主体沿径向外侧设置有保护环，主体上设置有若干微通道，微通道平行于主体的轴向，微通道的直径沿着主体轴向先逐渐变小再逐渐变大，当两个保护套关于主体镜面对称放置时，保护环位于两个保护套所形成的凹槽中，凹槽直径等于保护环外径，凹槽内与主体平行的侧面上设置有硬弹簧，硬弹簧连接有缓冲块，还包括紧固螺栓，所述紧固螺栓沿与主体垂直的方向贯穿两个保护套，紧固螺栓不与保护环接触。本发明通过设置微通道的直径沿主体轴向先缩小再增大的结构，削弱了离子反馈效应，有效地降低了噪声，提高了图像清晰度，还保护了光电阴极。
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公开(公告)号：CN105470091A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510796539.7
申请日：2015-11-18
Applicant: 山东航天电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于微通道板的空间低能电子模拟源，包括加热板、微通道板、电源以及两个栅网电极；加热板用于对微通道板(2)进行加热，控制微通道板的热噪声；微通道板上通过电源加载有偏置电压，用于产生电子束流；两个栅网电极放置在电子束流产生方向，两者之间形成电压差并产生均匀电场，对微通道板产生的电子进行加速；本发明的模拟源从原理上避免了光电子发射源普遍存在的“光噪声”问题；通过控制微通道板的温度和偏转电压，能够产生极弱的电子流密度、较大的动态范围以及均匀的大面阵电子束流。
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公开(公告)号：CN105349962A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510809554.0
申请日：2015-11-20
Applicant: 浙江大学
IPC: C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/455 , H01J9/00 , H01J43/04
CPC classification number: C23C16/18 , C23C16/403 , C23C16/45525 , H01J9/00 , H01J43/04
Abstract: 本发明公开了一种提高微通道板软X射线-极紫外线成像性能的方法及产品，包括：以气态三甲基铝为铝源，以气态去离子水作为氧源，以高纯氮气作为载气和清洁气体，利用原子层沉积系统，在铅铋玻璃制作的方孔微通道板上沉积氧化铝薄膜；以固态乙酰丙酮铱为铱源，以高纯氧气为氧源还原金属铱，以高纯氮气作为载气和清洁气体，利用原子层沉积系统，沉积铱薄膜。本发明制备的方孔微通道板孔径内壁增反膜，相比较未处理的微通道板，它利用的是铱作为金属增反膜，反射效率显著提高，从而有效提高微通道板用在软X射线—极紫外波段成像时的光强效率。本发明方法对方孔微通道板性能的改善，将会更加促进微通道板在X射线望远镜等掠入射成像系统的应用。
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