-
公开(公告)号：CN102656660A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200980162893.7
申请日：2009-12-17
Applicant: 日本先锋公司 , 日本先锋微电子技术公司
Inventor： 吉成正树
CPC classification number: H01J29/04 , H01J29/467 , H01J29/481 , H01J31/127 , H01J2329/4604 , H01J2329/4669
Abstract: 本发明的技术问题是提供一种即使设置聚焦电极层、栅电极层以及聚焦电极层也不会借助碳层而导通的面发射型电子发射元件以及具有该电子发射元件的摄像装置。作为解决上述技术问题的手段，电子发射元件具有：从面发射部发射电子的电子发射层；聚焦电极层，其隔着第1绝缘体层成膜在电子发射层的表面，使发射出的电子聚焦；栅电极层，其隔着第2绝缘体层，成膜在聚焦电极层的表面；发射凹部，其贯通栅电极层、第2绝缘体层、聚焦电极层以及所述第1绝缘体层，在面发射部的表面开口成凹状；碳层，其成膜在从栅电极层的表面到发射凹部的内周面的范围内；以及部分绝缘部，其使聚焦电极层与碳层绝缘。
-
-
公开(公告)号：CN102696089B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201080060892.4
申请日：2010-01-07
Applicant: 日本先锋公司 , 日本先锋微电子技术公司
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/467
Abstract: 本发明的技术问题是提供一种即使设置聚焦电极层（8），栅电极层（6）以及聚焦电极层也不会借助碳层（11）导通的面发射型电子发射元件（1）以及具有该电子发射元件的摄像装置。作为解决上述技术问题的手段，电子发射元件具有：从面发射部（9）发射电子的电子发射层（3）；栅电极层，其隔着第1绝缘体层（5）成膜在电子发射层的表面；聚焦电极层，其隔着第2绝缘体层（7）成膜在栅电极层的表面，使发射出的电子聚焦；发射凹部（10），其贯通聚焦电极层、第2绝缘体层、栅电极层以及第1绝缘体层，在面发射部的表面开口成凹状；以及碳层，其成膜在从聚焦电极层的表面直至发射凹部的内周面，碳层在第2绝缘体层的层端面向的发射凹部的成膜部分具有环状的不连续部（11a）。
-
公开(公告)号：CN102652346A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200980162808.7
申请日：2009-12-11
Applicant: 日本先锋公司 , 日本先锋微电子技术公司
Inventor： 大塚正志
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/06
Abstract: 本发明的课题在于，提供能够在抑制开口率的降低的同时适当地使电子束偏转的摄像装置。本发明的摄像装置（1）的特征在于，其具备：多个电子发射源（23），它们在水平扫描方向和垂直扫描方向上配置成矩阵状，各自构成像素并放射电子束；第一偏转电极（52）和第二偏转电极（53），它们具有隔着水平扫描方向的各像素列而在垂直扫描方向上交替配置的多个第一带状电极（54）和多个第二带状电极（56），以各像素列为单位使电子束在垂直扫描方向上偏转；以及垂直偏转电源部（58），其将用于偏转的电压以能够可变的方式分别施加到第一偏转电极（52）和第二偏转电极（53），使得至少在第一偏转电极（52）与第二偏转电极（53）之间产生正反的电位差。
-
公开(公告)号：CN111584333B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202010566113.3
申请日：2020-06-19
Applicant: 西安中科英威特光电技术有限公司
Abstract: 本发明涉及光电成像器件技术领域，公开了一种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件，方法包括以下步骤：S1、电子束在ps～μs时间段内经过光电成像器件的扫描系统时，扫描系统采用稳态扫描方式；电子束在时间间隔为ps～μs的相邻两段ps～μs时间内经过光电成像器件的扫描系统时，采用不同的稳态扫描电压；S2、不同时间段ps～μs内的电子束运动至光电成像器件的电子图像采集或显示部件的不同位置处，呈现不同的图像；相邻两段ps～μs之间的时间间隔为光电成像器件的时间分辨率，这种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件，实现了具有ps～μs范围内时间分辨可调、实现高空间分辨率的分幅成像探测。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111584333A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010566113.3
申请日：2020-06-19
Applicant: 西安中科英威特光电技术有限公司
Abstract: 本发明涉及光电成像器件技术领域，公开了一种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件，方法包括以下步骤：S1、电子束在ps～μs时间段内经过光电成像器件的扫描系统时，扫描系统采用稳态扫描方式；电子束在时间间隔为ps～μs的相邻两段ps～μs时间内经过光电成像器件的扫描系统时，采用不同的稳态扫描电压；S2、不同时间段ps～μs内的电子束运动至光电成像器件的电子图像采集或显示部件的不同位置处，呈现不同的图像；相邻两段ps～μs之间的时间间隔为光电成像器件的时间分辨率，这种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件，实现了具有ps～μs范围内时间分辨可调、实现高空间分辨率的分幅成像探测。
-
-
公开(公告)号：CN105097391A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510498386.8
申请日：2015-08-14
Applicant: 成都格瑞思文化传播有限公司
Inventor： 曾玥
IPC: H01J31/28
Abstract: 本发明公开一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接，该教学用扫描电子显微镜操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用。
-
公开(公告)号：CN102696089A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201080060892.4
申请日：2010-01-07
Applicant: 日本先锋公司 , 日本先锋微电子技术公司
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/467
Abstract: 本发明的技术问题是提供一种即使设置聚焦电极层（8），栅电极层（6）以及聚焦电极层也不会借助碳层（11）导通的面发射型电子发射元件（1）以及具有该电子发射元件的摄像装置。作为解决上述技术问题的手段，电子发射元件具有：从面发射部（9）发射电子的电子发射层（3）；栅电极层，其隔着第1绝缘体层（5）成膜在电子发射层的表面；聚焦电极层，其隔着第2绝缘体层（7）成膜在栅电极层的表面，使发射出的电子聚焦；发射凹部（10），其贯通聚焦电极层、第2绝缘体层、栅电极层以及第1绝缘体层，在面发射部的表面开口成凹状；以及碳层，其成膜在从聚焦电极层的表面直至发射凹部的内周面，碳层在第2绝缘体层的层端面向的发射凹部的成膜部分具有环状的不连续部（11a）。
-
公开(公告)号：CN204905206U
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201520614100.3
申请日：2015-08-14
Applicant: 河南理工大学万方科技学院
Inventor： 杨如倩
IPC: H01J31/28
Abstract: 本实用新型公开一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接，该教学用扫描电子显微镜操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
1617
records
(took 0.021 seconds)
