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公开(公告)号：CN117780595A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311815680.8
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国原子能科学研究院
Abstract: 本申请的实施例涉及专门适用于弹性流体的泵送装置或系统，具体涉及一种真空装置，该装置包括真空装置本体、分子真空泵、离子真空泵、机械真空泵、真空腔室和真空管路。分子真空泵、离子真空泵、机械真空泵、真空腔室设置于真空装置本体内，真空管路与真空腔室连接，延伸出真空腔室的部分用于与真空负载连接；机械真空泵将真空腔室抽至第一预定真空度后停止工作；分子真空泵将真空腔室抽至第二预定真空度后停止工作；离子真空泵将真空腔室抽至第三预定真空度，三者中，第一预定真空度低于第二预定真空度低于第三预定真空度。本申请的实施例提供的真空装置能够快速对真空腔室抽真空，并且能将真空腔室抽至并长期维持较高的真空状态。
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公开(公告)号：CN117461109A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202280041517.8
申请日：2022-03-24
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 一种能在超高真空状态下高效放电的小型等离子体源，包括：第一磁体；第二磁体，被布置为对于第一磁体的第一磁极，其与第一磁极不同的第二磁极与之相对；第三磁体，在与第一磁体的第一磁极朝向相同的方向上，其与第一磁极不同的第二磁极与之相对，且围绕第一磁体布置；第四磁体，对于第三磁体的第二磁极，其与第二磁极不同的第一磁极与之相对，且围绕第二磁体布置；第一电极，设置在第一磁体的第一磁极以及第三磁体的第二磁极所在的一侧；第二电极，面向第一电极，设置在第二磁体的第二磁极和第四磁体的第一磁极所在的一侧；第三电极，布置在第一电极和第二电极之间。将第一磁体和第二磁体之间的距离与第三磁体和第四磁体之间的距离中较短的距离，除以第一至第四磁体的平均厚度的值，在1以上10以下。
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公开(公告)号：CN111344489B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201880052444.6
申请日：2018-07-11
Applicant: 斯坦福研究院
Inventor： 斯特林·爱德华多·麦克布赖德 , 乔伊·J·迈克尔丘克 , 克里斯托弗·E·霍兰 , 阿希什·乔杜里 , 温斯顿·K·钱
Abstract: 本公开包括外电极和内电极。外电极限定内容积并且被配置为通过至少一个孔接收注入的电子。内电极定位在内容积中。外电极和内电极被配置为响应于外电极与内电极之间的电势将所接收的电子限制在围绕内电极的轨道中。该设备不包括被配置为生成电子约束磁场的部件。
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公开(公告)号：CN114823273A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210494570.5
申请日：2022-05-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H01J41/04
Abstract: 本发明公开了一种可用于强磁场环境测量下限较低的高灵敏度热阴极电离规，该热阴极电离规主要包括阴极灯丝、阳极栅、离子收集极和金属外壳；其中，阴极灯丝为螺旋粗灯丝结构，用于抵抗强磁场中的安培力；阳极栅为螺旋结构或笼状结构，其包括左阳极栅和右阳极栅，并以阴极灯丝为中心对称布置；离子收集极为金属细丝结构，其包括左离子收集极和右离子收集极；金属外壳为圆筒状结构，其电势为接地布置；阴极灯丝、阳极栅、离子收集极和金属外壳同轴布置，在磁场环境下工作时，设置电极轴线排布方向与磁场方向平行。与传统的用于强磁场环境的热阴极电离规相比，本发明可有效地增加阴极灯丝的使用寿命，提高电离规的灵敏度，其测量下限可延伸至10‑9Pa。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112204696B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201980036571.1
申请日：2019-05-21
Applicant: 万机仪器公司
Abstract: 倒磁控管冷阴极电离真空计、电离源、测量压力的方法。公开了一种总压力冷阴极电离计。倒磁控管电极设计能够同时检测和测量高真空系统中的总气体压力以及诸如氢气、氦气以及水的这样的一种或更多种气体的部分压力。另外，公开了一种泄漏检测器，诸如氦泄漏检测器，其具有到离子检测通道的进气通道的紧凑的逆流结构。
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公开(公告)号：CN109767970B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201811481693.5
申请日：2018-12-05
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种微型封装式电离规，包括场发射阴极、门极、阳极组件、收集极及封装外壳；场发射阴极设置在封装外壳底端，所述场发射阴极、门极、阳极组件及收集极共轴设置，电极与电极之间绝缘；所述收集极为栅网结构，与封装外壳顶端固定连接，用于接收离子流，同时与真空环境导通引入气体分子；门极为场发射阴极提供引出电场，场发射电子进入阳极组件后，在阳极组件形成局部马鞍形电场，场发射电子在阳极组件内往复振荡并电离气体分子，电离后产生的离子流被收集极接收。本发明能够克服高温热阴极效应，同时提高灵敏度，延伸测量下限。
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公开(公告)号：CN112768337A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011559027.6
申请日：2020-12-25
Applicant: 上海三井真空设备有限公司
Inventor： 郑主安
Abstract: 本发明公开了一种离子泵新型短抽口结构，涉及离子泵的技术领域，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，在离子泵泵体顶部向下开设有缺口；短抽气管道，短抽气管道沿竖向装配在离子泵泵体顶部，短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，短抽气管道的顶部设有环形凸台；松套法兰，松套法兰可转动的套设在短抽气管道上。本发明的离子泵新型短抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距离足够螺栓摆正螺栓，在缩短短抽气管道的长度后能够大大提高抽气管道的流导，显著提高了离子泵的抽速。
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公开(公告)号：CN110838430A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201911282043.2
申请日：2019-12-13
Applicant: 江苏蓝安信息科技有限公司
IPC: H01J41/12
Abstract: 本发明公开了电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。本发明所述的电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，通过设置温度保护机构，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体，通过设置循环降温装置，在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。
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公开(公告)号：CN109075010A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780027137.8
申请日：2017-04-27
Applicant: 万机仪器公司
Abstract: 一种冷阴极电离真空计包括多个阴极，在所述多个阴极与阳极之间具有不同间距。所述多个阴极允许在较宽的压力范围内的压力测量。具有较大的间距的第一阴极可以根据汤森放电来提供电流；而具有较小的间距的第二阴极可以根据在较高的压力下的汤森放电以及在更高的压力下的帕邢定律放电这两者来提供电流。在第二阴极上的特征构造可以支持帕邢定律放电。阴极和电源的回程之间的大电阻使得能够控制输出曲线以扩大具有精确响应的压力范围并且避免输出最小值。可以基于来自各个阴极的电流根据贯穿宽压力测量范围的阴极的输出来获得压力测量值。所述多个阴极亦可提供避免在各个阴极的电流输出中发现的中断处的测量值。
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