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公开(公告)号:CN103972303A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201410033871.3
申请日:2014-01-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/861 , H01L29/06 , H01L29/40 , H01L27/02 , H01L21/329 , H01L21/28 , H01L21/8249
CPC classification number: H01L27/0629 , H01L21/823418 , H01L27/0255 , H01L27/0705 , H01L29/8611 , H01L2224/14181 , H01L2224/16145 , H01L2224/16225 , H01L2224/45139 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2924/13034 , H01L2924/13091 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明提供了一种二极管、ESD保护电路、制造二极管的方法以及同时制造二极管和PLDMOS晶体管的方法。所述方法如下。在N型外延层的第一上部中形成N型阱区域。在N型外延层的第二上部中形成P型漂移区域。在N型阱区域中形成N型掺杂区域。在P型漂移区域中形成P型掺杂区域。在P型漂移区域中形成隔离结构。隔离结构设置在N型阱区域和P型掺杂区域之间。在N型外延层的一部分上形成第一电极。N型外延层的所述一部分设置在N型阱区域和P型漂移区域之间。第一电极与隔离结构的一部分叠置。形成连接结构以电结合N型掺杂区域和第一电极。
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公开(公告)号:CN103972303B
公开(公告)日:2018-11-20
申请号:CN201410033871.3
申请日:2014-01-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/861 , H01L29/06 , H01L29/40 , H01L27/02 , H01L21/329 , H01L21/28 , H01L21/8249
Abstract: 本发明提供了一种二极管、ESD保护电路、制造二极管的方法以及同时制造二极管和PLDMOS晶体管的方法。所述方法如下。在N型外延层的第一上部中形成N型阱区域。在N型外延层的第二上部中形成P型漂移区域。在N型阱区域中形成N型掺杂区域。在P型漂移区域中形成P型掺杂区域。在P型漂移区域中形成隔离结构。隔离结构设置在N型阱区域和P型掺杂区域之间。在N型外延层的一部分上形成第一电极。N型外延层的所述一部分设置在N型阱区域和P型漂移区域之间。第一电极与隔离结构的一部分叠置。形成连接结构以电结合N型掺杂区域和第一电极。
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