集成肖特基二极管的SiCJFET器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN106783851A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710038085.6

    申请日:2017-01-19

    Inventor: 倪炜江

    Abstract: 本发明公开了集成肖特基二极管的SiC JFET(结型场效应晶体管)器件,其有源区的原胞结构从下至上依次为漏极、SiC衬底、buffer层、n‑漂移层、左右对称设置的两个p+阱层、n沟道层、n沟道层两侧左右对称设置的两个p+区、从左至右依次对称设置的p+区,n++区,p+区,p+区,n++区和p+区、从左至右依次对称设置的源极,栅极,肖特基接触,栅极和源极;源极设置在的原胞结构左右两侧相邻的p+区和n++区上方,栅极设置在原胞结构左右两侧的中部p+区上方,肖特基接触设置在有源区中原胞结构的部分中部n区上方,在原胞结构中其他部分n区上方无肖特基接触。本申请提出了集LJFET与VJFET于一体的,并且集成了肖特基二极管的SiC JFET器件,并提供了制作方法。

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