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公开(公告)号：CN111327290B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201910584478.6
申请日：2019-07-01
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。
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公开(公告)号：CN114520640A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202111635908.6
申请日：2017-12-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足ΔMg为位于所述腔上方的所述膜层的最大厚度和最小厚度之差。
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公开(公告)号：CN114465597A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110811548.4
申请日：2021-07-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及保护层，设置在所述谐振部的上表面上。所述保护层包括：第一保护层，利用金刚石薄膜形成；以及第二保护层，堆叠在所述第一保护层上，并且利用介电材料形成。
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公开(公告)号：CN108123695B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201711211798.4
申请日：2017-11-28
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
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公开(公告)号：CN112468107A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202010893238.7
申请日：2020-08-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器和滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分；以及插入层，设置在所述压电层的部分区域之下。所述第一电极在有效区中的厚度小于所述第一电极在所述有效区之外的区域中的厚度，在所述有效区中，所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此重叠。所述插入层的内侧表面的倾斜角度与所述插入层的外侧表面的倾斜角度不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108631748A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201711315132.3
申请日：2017-12-12
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02007 , H01L41/053 , H01L41/29 , H01L41/31 , H03H3/02 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H9/54 , H03H2003/023
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足 ΔCg为所述腔的最大间距和最小间距之差。
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公开(公告)号：CN107317561A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710032174.X
申请日：2017-01-13
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器可包括：空气腔；蚀刻停止层和蚀刻停止部，限定空气腔的下边界表面和侧边界表面；谐振部，形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。
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公开(公告)号：CN1243277C
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN03146519.6
申请日：2003-07-03
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/3552 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3594
Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底；光纤，分别具有光信号发射端和光信号接收端，同轴安置在所述衬底上；安置在所述衬底上的微电子激励器，用于沿垂直于所述光束的光轴的方向提供工作冲程；安置在所述衬底上的至少一个杠杆结构，用于在其第一端接收微电子激励器的所述工作冲程，以及通过其第二端，将放大的移动距离传送到光闸；光闸，安置在所述衬底上并连接到所述杠杆结构的第二端以便移动所述放大的移动距离，从而移动到所述光束的衰减位置。
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公开(公告)号：CN1512255A
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：CN03148429.8
申请日：2003-06-27
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/35 , G02B6/3552 , G02B6/356 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3582 , G02B6/3592 , G02B6/3594
Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底，安置在衬底的平面上的微电子激励器，一对分别具有接收和发射端的光波导，并且彼此同轴安置成一行并安置在平面上，光闸，可移向光波导的发射端和接收端间的预定位置，并由微电子激励器驱动来移动，以及形成在光闸上的表面层，具有低于80％的反射率以便部分透射其中的入射光束，并具有消光属性，从而根除其中的该部分透射光。
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公开(公告)号：CN111049488B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910614244.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。
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