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公开(公告)号:CN1940123A
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN200610141826.5
申请日:2006-09-30
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/243 , Y10T117/1068
Abstract: 本发明提供了一种蒸发源部件和一种使用该部件的真空沉积装置,该真空沉积装置包括真空室、坩锅、加热器和位于坩锅内部的多层内板,其中,多层内板中的各层具有至少一个孔,从而蒸发材料可从坩锅底部穿过多层内板排到真空室中。
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公开(公告)号:CN1828839A
公开(公告)日:2006-09-06
申请号:CN200610003376.3
申请日:2006-02-07
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/283 , H01L51/56 , H01L51/50
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3246 , H01L51/5206
Abstract: 本发明公开了一种有机发光二极管(OLED)显示器及其制造方法,其中通过在形成像素分隔层之后并且在沉积有机层之前执行表面处理工艺,改进了用作像素电极的氧化铟锡(ITO)层的表面特性。形成平板显示器电极的方法包括:在基板上形成电极材料;图形化该电极材料,以形成电极图案;在该基板上形成具有沉积厚度的绝缘层;蚀刻该绝缘层,以露出该电极图案的一部分;在该绝缘层被从沉积厚度蚀刻预定厚度的条件下,执行表面处理工艺。
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公开(公告)号:CN1773716A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200510115805.1
申请日:2005-11-09
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L27/3246
Abstract: 本发明提供了一种有机电致发光显示装置(OELD),该装置通过在覆盖像素电极边缘的绝缘层的表面上形成凹口或槽来防止粒子产生盲点。该OELD包括:下电极,排列在基板上;绝缘层,排列在基板上,绝缘层具有用于暴露下电极的部分的孔;有机层,排列在下电极的暴露部分上;和上电极,排列在基板上,其中,绝缘层包括在其表面上的凹口和/或槽。
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