公开(公告)号：CN101182627A

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN200710169464.5

申请日：2007-11-16

Applicant: 财团法人山形县产业技术振兴机构 ,  三菱重工业株式会社 ,  三菱日立制铁机械株式会社

Inventor： 小田敦 ,  小林敏郎 ,  佐藤惠一 ,  北本博子 ,  神川进 ,  和田宏三

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  C23C14/542

Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。

公开(公告)号：CN101182627B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200710169464.5

申请日：2007-11-16

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 小田敦 ,  小林敏郎 ,  佐藤惠一 ,  北本博子 ,  神川进 ,  和田宏三

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  C23C14/542

Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。