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公开(公告)号：CN100482850C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101401198A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200680053935.X
申请日：2006-12-26
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00 , B65G49/06
CPC classification number: B65G49/061 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 本发明公开了一种静电吸引设备和一种能够可靠吸引和快速释放玻璃基板的吸引/释放方法。根据玻璃基板的物理性质获得用于吸引玻璃基板的吸引力。除了获得用于获得吸引力所要求的吸引电压(Vc(t))之外，也获得了用于保持吸引状态的保持电压(Vh(t))和用于释放玻璃基板的释放电压(Vr(t))(S1到S7)。吸引时间周期(tc)被实际测量，并且如果此测量的时间不同于预设吸引时间(t1)，根据实际测量的吸引时间周期(tc)重新计算保持电压(Vh(t))和释放电压(Vr(t))(S8到S11)。
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公开(公告)号：CN101182627B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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公开(公告)号：CN1518148A
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN200310118660.1
申请日：2003-11-27
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01M8/00
CPC classification number: H01M8/0247 , H01M8/247 , H01M8/249 , H01M2008/1095
Abstract: 一种层叠式燃料电池，包含交替层叠的多个电池薄膜(11)和多个隔离板(12)。电池薄膜(11)分别包含夹在石墨制成的电极薄膜之间的固态聚合物电解质薄膜，而隔离板(12)是导电的石墨隔离板，且分别具有在其一个表面上形成的燃料气体通道，和在其另一表面上形成的氧化剂气体通道。在层叠式燃料电池中，多个分隔板(18)沿层叠方向以预定的间隔插入。分隔板(18)分别具有导电的石墨端子板(16)，和导电的石墨端部隔离板(17)，所述端子板具有成为穿透部分的槽(16a)，由树脂(例如聚丙烯)制成的带形紧固件(19)沿垂直于层叠方向的方向穿过所述穿透部分，所述端部隔离板具有在其与电池薄膜(11)接触的表面上形成的气体通道。所述层叠式燃料电池及其维护方法不仅能防止隔离板(12)的破裂和出现死区，而且可以以较少的部件数目顺利地操作。
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公开(公告)号：CN101182627A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 财团法人山形县产业技术振兴机构 , 三菱重工业株式会社 , 三菱日立制铁机械株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1676659A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1393042A
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN01802802.0
申请日：2001-09-18
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01M8/0245 , H01M4/8605 , H01M8/0234 , H01M8/0239 , H01M8/0241 , H01M8/1007
Abstract: 一种聚合物电解质燃料电池包括一个有一个固体聚合物膜的电池，布置在此电池的两边以便把此电池插入在它们之间的隔板，及布置在此电池与隔板之间且每个有一个包括一个导电的多孔材料的衬底与一个布置在此衬底上的粉浆层的扩散层，其中每个扩散层的至少一部分上备有一个供防止气体朝向主侧渗透用的气体屏障。
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公开(公告)号：CN1299379C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN01802802.0
申请日：2001-09-18
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01M8/0245 , H01M4/8605 , H01M8/0234 , H01M8/0239 , H01M8/0241 , H01M8/1007
Abstract: 一种聚合物电解质燃料电池包括一个有一个固体聚合物膜的电池，布置在此电池的两边以便把此电池插入在它们之间的隔板，及布置在此电池与隔板之间且每个有一个包括一个导电的多孔材料的衬底与一个布置在此衬底上的粉浆层的扩散层，其中每个扩散层的至少一部分上备有一个供防止气体朝向主侧渗透用的气体屏障。
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公开(公告)号：CN1807677A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610006228.7
申请日：2006-01-23
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有至少一个设置在坩锅上表面内的狭缝凹槽。所述至少一个狭缝凹槽具有从该坩锅上表面的一端到其另一端的长度。所述至少一个狭缝凹槽用作为用于容纳蒸发材料(掺杂材料等)的部分。可替换地，一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有多个设置在坩锅上表面内的孔。这些孔用作为用于容纳蒸发材料的部分。另外，该坩锅分成多个区域，在坩锅下表面之下为相应区域设置单独的电加热器，从而能通过这些电加热器为相应区域单独控制温度。
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公开(公告)号：CN101981223B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN200980111673.1
申请日：2009-09-24
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。该真空蒸镀装置包括：能够收容从外部搬入的被蒸镀体(B)的真空室(1)；设置在所述真空室(1)内并收容蒸镀材料(M)的坩埚(2)；加热所述坩埚(2)并使所述蒸镀材料(M)气化的加热源(3)；分散配置在坩埚(2)的底部(2c)并支承坩埚(2)，并且在坩埚(2)与真空室(1)的底部(1a)之间进行传热的多个支承部(5)。通过该真空蒸镀装置，能够实现温度分布的均一化，并能够降低材料的多余的填充。
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