公开(公告)号：CN221811770U

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202322980480.X

申请日：2023-11-03

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 赵以恒 ,  张跃飞 ,  张高会 ,  张宜旭 ,  刘陵恩 ,  王志成 ,  涂志宇

IPC: G01N23/2251

Abstract: 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜采集成像系统，包含探测器组件，该探测器组件设置于真空腔内载物台的上方，该探测器组件包含基座和托架，在托架上设有至少两组同类型的探测器，并且该托架可相对基座旋转，旋转托架可调整探测器相对样品的采集角度，多次调整能够从多角度获取样品多个同类型的图像信息，如此不仅能够获得明暗变化最明显的优质图像信息，且可以利用三维成像算法形成样品的三维图像；可见，采用本申请该扫描电子显微镜采集成像系统能够通过多角度的图形信息实现对样品更全面的分析和了解，也能够通过多个多角度图形信息获取样品的三维图像，为后续图像的使用提供更详细、准确的观察和分析结果。

公开(公告)号：CN221522761U

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202323339784.4

申请日：2023-12-08

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 涂志宇

IPC: C23C14/35

Abstract: 本实用新型公开了一种易于安装且高使用效率的金属靶结构，套筒套接于底座上，底座的侧壁下端设置多个球头柱塞，套筒的侧壁下端设置多个开孔，球头柱塞卡接于对应的开孔内，底座上设置嵌槽，金属靶本体通过榫卯结构固定于嵌槽内，金属靶本体由环形的外层第一金属结构与填充于环形的外层第一金属结构内的内层第二金属结构复合连接组成，外层第一金属结构凸出金属靶本体的外表面，本实用新型用于磁控溅射靶，结构简单、易于安装且设计合理，可提高金属靶材利用率和安装效率，提升靶结构的耐用性，适合推广使用。