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公开(公告)号：CN101713928B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN200910173460.3
申请日：2009-09-18
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70575 , G03F7/70033
Abstract: 一种曝光装置，用于制造半导体及液晶等，具备如下的光学系统：使用激光向放射紫外线等光的放电灯供给高能量的情况下，不会在放电容器上开孔，可以有效利用所产生的光。上述曝光装置具有：放射紫外线的光源；激光装置，用于向该光源射入供给能量的激光；椭圆反射镜，反射从该光源放射的紫外线；以及光学系统，使从配置在该椭圆反射镜的第1焦点上的该光源放射的光在该椭圆反射镜上反射，并经由包含准直透镜、积分透镜在内的光学元件照射被照射物，上述曝光装置的特征在于，为了从该椭圆反射镜的开口侧向该光源射入激光，在被该椭圆反射镜反射的光的光路中设置具有波长选择功能的光束分离器。
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公开(公告)号：CN102043346A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010510483.1
申请日：2010-10-13
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J65/04 , H01J61/025
Abstract: 提供光源装置，在发光管内能以大立体角聚光光束，防止能量密度高的光束碰到发光管的壁。发光管(1)是凸型弯月形构造，作为聚光单元(31)起作用。从激光振荡部(2)放射的激光束通过聚光单元(31)在发光管(1)的内部以增大立体角的方式被聚光。由此形成高温等离子体状态，使得发光管发光。将发光管(1)的壁自身作为聚光单元，因而可增大聚光时的立体角，并且所聚光的光束不照射发光管(1)的壁，可防止发光管的加热或破损。作为聚光单元，只要是凸透镜、棒形透镜等可将光聚光的形状即可，也可使用其他，也可以设置多个聚光单元。并且，将聚光单元安装于发光管的内表面也可得到同样的效果。
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公开(公告)号：CN102043346B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201010510483.1
申请日：2010-10-13
CPC classification number: H01J65/04 , H01J61/025
Abstract: 提供光源装置，在发光管内能以大立体角聚光光束，防止能量密度高的光束碰到发光管的壁。发光管(1)是凸型弯月形构造，作为聚光单元(31)起作用。从激光振荡部(2)放射的激光束通过聚光单元(31)在发光管(1)的内部以增大立体角的方式被聚光。由此形成高温等离子体状态，使得发光管发光。将发光管(1)的壁自身作为聚光单元，因而可增大聚光时的立体角，并且所聚光的光束不照射发光管(1)的壁，可防止发光管的加热或破损。作为聚光单元，只要是凸透镜、棒形透镜等可将光聚光的形状即可，也可使用其他，也可以设置多个聚光单元。并且，将聚光单元安装于发光管的内表面也可得到同样的效果。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN1591769A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410068636.6
申请日：2004-09-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
Abstract: 提供一种构造简单且在放电容器处无因热膨胀所产生的破损，具有放电稳定生成的新颖的构造的准分子灯泡。由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、使此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、配置于放电容器的外面的外侧电极构成的准分子灯泡，其特征为：上述内侧电极，其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端是由在放电空间内开放的电介质材料构成的内侧管所覆盖。
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公开(公告)号：CN101770178A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910260858.0
申请日：2009-12-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 住友卓
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: H01J61/86 , H01J61/025 , H01J61/54
Abstract: 提供一种即使高温等离子体(LPP)沿着光轴方向连续地振动，也可以防止光源闪烁的光源装置。本发明的光源装置，具有：相对配置有一对电极(14、15)并且封入有放电介质的放电灯(1)以及向着一对电极(14、15)间照射能量束(8)的能量束照射单元，其特征为：上述能量束照射单元在对电极(14、15)供电而使放电灯(1)点灯时，向着形成在电极(15)的前端附近的辉点(61)照射能量束(8)。
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公开(公告)号：CN101769478A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910266366.2
申请日：2009-12-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J65/042 , H01J61/025 , H01J61/54
Abstract: 本发明提供一种光源装置，对放电容器照射激光而使放射光放射，利用通过放电容器遮蔽来自椭圆反射镜的反射光而未照射反射光的反射光非照射区域导入激光，使放射光未衰减地在椭圆反射面确实反射，高效利用放射光。该光源装置具有：在内部封入有发光物质，激光由椭圆反射镜(2)的开口侧聚光且被照射，激发发光物质而放射有放射光的放电容器(1)；在一方焦点上配置有放电容器(1)的椭圆反射镜(2)；以及放射光被椭圆反射镜(2)反射而成为反射光，改变该反射光的方向的平面镜(4)，在平面镜(4)上在通过放电容器(1)遮蔽来自椭圆反射镜(2)的反射光而未被照射反射光的反射光非照射区域(F1-F2)上设有导入激光的窗部(41)。
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公开(公告)号：CN1763905B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200510118108.1
申请日：2005-10-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
Abstract: 本发明提供一种受激准分子灯点灯装置，将供给到受激准分子灯的高频电力的频率作为1MHz至1GHz而降低对受激准分子灯的施加电压时，即使全长较长的受激准分子灯的点灯时，也可缩短放电等离子体均匀地分布于放电空间整体为止的时间，而即使有重复点灯熄灯的状况，也可进行均匀的受激准分子光的照射处理。本发明的受激准分子灯点灯装置包括：受激准分子灯(7)、点灯电路部(20)、及控制部(10)，其中，控制部控制点灯电路部，使得在受激准分子灯的起动期间中将比供给到受激准分子灯的稳定点灯时的稳定电力高的电力供给到受激准分子灯，当受激准分子灯转移至稳定点灯状态后，将稳定电力供给到受激准分子灯。
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