公开(公告)号：CN1658369A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200510009547.9

申请日：2005-02-21

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松野博光 ,  住友卓 ,  菱沼宣是

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67069 ,  B01J23/38 ,  B01J35/004 ,  H01L21/67115

Abstract: 本发明提供一种不会污染被处理物，并可通过产生高效率的活性种来改善处理速度的处理装置。为达到上述目的，本发明的处理装置，是采用催化剂来分解含有H原子或O原子的分子气体，并利用该催化剂所分解产生的气体对被处理物进行处理的处理装置，其特征为：具备对该催化剂照射光的机构，而该光的波数超过以该催化剂所具有的波数来表示的功函数。

公开(公告)号：CN1619780A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410094959.2

申请日：2004-11-19

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松野博光 ,  菱沼宣是 ,  菅原宽

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  C23C16/48 ,  C23C8/06

Abstract: 本发明是提供与以往的利用被激活的氧的处理不同的、抑制了对被处理物的氧化影响的处理装置。其目的在于提供一种利用真空紫外光的处理装置，该处理装置能够实现在使用被激活的氧进行的处理中无法得到充分的处理速度的处理，例如注入离子的抗蚀剂的灰 化/除去等。该处理装置，具备放射真空紫外光的光源、和具备该光源的放电容器及/或处理空间，并配置有导入气体的导入口，通过照射光激活该被导入的气体，其特征在于，该被激活性的气体是NmHn，其中，N为氮原子、H为氢原子、m、n为任意的自然数；具备将自上述光源放射的真空紫外光照射于该NmHn气体的机构。

公开(公告)号：CN100517589C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200410094959.2

申请日：2004-11-19

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松野博光 ,  菱沼宣是 ,  菅原宽

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  C23C16/48 ,  C23C8/06

Abstract: 本发明是提供与以往的利用被激活的氧的处理不同的、抑制了对被处理物的氧化影响的处理装置。其目的在于提供一种利用真空紫外光的处理装置，该处理装置能够实现在使用被激活的氧进行的处理中无法得到充分的处理速度的处理，例如注入离子的抗蚀剂的灰化/除去等。该处理装置，具备放射真空紫外光的光源、和具备该光源的放电容器及/或处理空间，并配置有导入气体的导入口，通过照射光激活该被导入的气体，其特征在于，该被激活性的气体是NmHn，其中，N为氮原子、H为氢原子、m、n为任意的自然数；具备将自上述光源放射的真空紫外光照射于该NmHn气体的机构。