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发明公开
带有空气净化装置的光照射装置无效

公开(公告)号：CN101859070A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010129556.2

申请日：2010-03-08

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 梅本信一 , 野村彻

IPC: G03F7/20 , A61L9/20

Abstract: 提供能够将光照射装置内的空气净化、防止透镜或反射镜等光学部件污染的带有空气净化装置的光照射装置。在具有放射包含紫外线的光的光源(1)和将来自该光源(1)的光反射或透射的光学部件的光学装置中，设置对该光照射装置内的空气进行净化的空气净化装置(20)，将净化后的空气导入光照射装置内。空气净化装置(20)具备紫外线照射部(21)、和使照射了来自紫外线照射部(21)的紫外线的空气(气体)与水接触的水槽(24)，使照射紫外线之后的空气与水接触，将作为光学部件污染的原因的二甲基硫醚(以下称作DMS)等从空气中除去。由此，能够防止光照射装置内的光学部件因硫酸铵等造成的污染。

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