公开(公告)号：CN103295947A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201210105719.2

申请日：2012-03-05

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 野村彻 ,  松田僚三 ,  筱山一城 ,  鸣海惠司

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明提供一种激光剥离装置，将变形的工件不会使其损坏地保持并照射激光，进行激光剥离处理。层叠有蓝宝石基板(1a)、材料层(1b)、支承基板(1c)的、例如向下凸出地变形的工件(1)，在三点支承而配置在设于载物台(20)的支承机构(10)的支承杆(12)上。载物台(20)被放载置于传送带那样的输送机构(2)上，利用输送机构(2)以规定的速度进行输送。工件(1)一边与载物台(20)一起被输送，一边照射穿过基板(1a)而从未图示的脉冲激光源射出的脉冲激光L。由于不必将变形的工件(1)矫正成平面状，以变形状态原封不动地支承而进行激光剥离处理，因此即使工件大幅变形，也能够不使工件损坏而进行处理。

公开(公告)号：CN102683248A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210114459.5

申请日：2012-03-14

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 野村彻 ,  筱山一城

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/268

Abstract: 一种激光剥离装置，消除由于向工件照射激光而从工件产生的各种尘粒的恶劣影响。在工件载放台(10)的载放台部(11)的周缘，设置由环状外壁部(21b)和顶壁部(21a)构成的环状壁部(21)。在载放台部(11)上在多个位置设置用于与排气机构连接的排出口(12)。在该排出口(12)上通过配管(22)例如连接泵、风扇等排气机构，吸引环状壁部(21)内的空气。通过用激光照射工件(1)，从其边缘部与气体一起向由环状外壁部(21b)和顶壁部(21a)划分的内部空间(A)喷出的尘粒，通过朝向排出口(12)的流体的流动，从在载放台部(11)上设置的排出口(12)排出。

公开(公告)号：CN101859070A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010129556.2

申请日：2010-03-08

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 梅本信一 ,  野村彻

IPC: G03F7/20 ,  A61L9/20

Abstract: 提供能够将光照射装置内的空气净化、防止透镜或反射镜等光学部件污染的带有空气净化装置的光照射装置。在具有放射包含紫外线的光的光源(1)和将来自该光源(1)的光反射或透射的光学部件的光学装置中，设置对该光照射装置内的空气进行净化的空气净化装置(20)，将净化后的空气导入光照射装置内。空气净化装置(20)具备紫外线照射部(21)、和使照射了来自紫外线照射部(21)的紫外线的空气(气体)与水接触的水槽(24)，使照射紫外线之后的空气与水接触，将作为光学部件污染的原因的二甲基硫醚(以下称作DMS)等从空气中除去。由此，能够防止光照射装置内的光学部件因硫酸铵等造成的污染。