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公开(公告)号:CN102985364B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201180029911.1
申请日:2011-03-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
CPC classification number: F26B5/042 , B08B3/04 , B08B3/10 , C01B33/035 , C23C16/4407 , F26B5/12 , F28G13/00
Abstract: 钟罩具备金属性钟罩(1)和用于设置该钟罩(1)的金属性基板(2),通过填料(3)使容器内部密闭。在基板(2)上连接压力计(4)、气体导入管路(5)、气体排气管路(6),使钟罩(1)的内部压力的监测以及气体的导入和排气成为可能。在气体排气管路(6)的路线上设置真空泵(7),通过该真空泵(7),以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压。通过该真空泵(7),以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压,由此有效地进行水分除去,在短时间内结束钟罩的干燥。通过本发明,提供提高钟罩内表面的清洁度从而有助于高纯度多晶硅的制造的技术。
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公开(公告)号:CN102574691A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201080046255.1
申请日:2010-07-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
CPC classification number: C01B33/035 , Y10T29/53796 , Y10T29/53961
Abstract: 本发明提供一种多晶硅的制造方法,其能够在短时间内使硅芯线与芯线支架获得充分的接合强度,其结果是能够缩短反应初期的生长速度抑制期间。本发明的芯线支架(20)中,一端侧为具有圆锥台状的斜面的形状,在该端部设有开口部(22),且形成有用于插入并保持硅芯线(5)的空洞(21)。在硅芯线(5)的表面通过西门子法使多晶硅(6)进行气相生长,进行多晶硅棒的制造。在开口部(22)附近的圆锥台状斜面上从开口部附近的外周面朝向空洞(21)形成有环状狭缝(23a~c)作为绝热层。该环状狭缝作为绝热部(绝热层)发挥作用,抑制来自硅芯线(5)或多晶硅(6)的传导热及辐射热向金属电极的逸散,并对芯线支架(20)的一端侧进行加热。
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公开(公告)号:CN1807461B
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200510003451.1
申请日:2005-11-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08B11/22
CPC classification number: C08B11/22
Abstract: 通过在加压下使水溶性纤维素醚颗粒在水中的悬浮液经过具有多孔的金属或陶瓷过滤介质的过滤器过滤,从过滤介质中除去水溶性纤维素醚滤饼,并用蒸汽、压缩空气或加压的水洗涤过滤介质从而将水溶性纤维素醚从其悬浮液中分离出。本发明能够分离水溶性纤维素醚,特别是具有高溶解温度的纤维素醚,避免过滤器被堵塞,并延长了过滤器的操作时间。
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公开(公告)号:CN101565185A
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200910132968.9
申请日:2009-04-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , C30B29/06
CPC classification number: C01B33/03 , C01B33/035
Abstract: 本发明提供一种多晶硅棒的制造方法,其中,在制造硅棒时,使用从通过CZ法或FZ法培育而成的单晶硅锭切出的硅部件(单晶硅棒)作为芯线。具体而言,从切去单晶硅锭(10)的肩部(10s)和尾部(10t)而得到的主体部(10b)切出平板状硅(11),进而,切割成长条形而得到硅棒(芯线)(12)。在结晶生长轴方位为 的情况下,晶体习性线(h1~h4)为四根,硅棒(芯线)(12)按照其面与晶体习性线形成特定范围的偏角θ的方式切出。根据本发明,能够提供以现有方法无法得到的低杂质污染(高纯度)的多晶硅棒及单晶化效率高的FZ用多晶硅棒。
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公开(公告)号:CN118725404A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202410375560.9
申请日:2024-03-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种制造解聚纤维素醚的方法,所述方法节省空间且生产率高,能够减少纤维素醚的粉体对反应器的附着,并且能够得到抑制了黄度和异物的产生量的解聚纤维素醚。一种连续地制造解聚纤维素醚的方法,至少包含以下工序:a)调湿工序,使从原料罐(1)连续地供给到调湿槽(2)的温度为3℃以上且低于40℃的原料纤维素醚(A)与水蒸气(B)接触,得到调湿纤维素醚;b)升温工序,加热所述调湿纤维素醚,得到升温纤维素醚;c)解聚工序,使气体的氯化氢(C)与所述升温纤维素醚连续地接触,得到解聚纤维素醚生成物;以及d)中和工序,通过将所述解聚纤维素醚生成物与碱性化合物(E)混合而进行中和,得到解聚纤维素醚(F)。
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公开(公告)号:CN102574691B
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN201080046255.1
申请日:2010-07-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
CPC classification number: C01B33/035 , Y10T29/53796 , Y10T29/53961
Abstract: 本发明提供一种多晶硅的制造方法,其能够在短时间内使硅芯线与芯线支架获得充分的接合强度,其结果是能够缩短反应初期的生长速度抑制期间。本发明的芯线支架(20)中,一端侧为具有圆锥台状的斜面的形状,在该端部设有开口部(22),且形成有用于插入并保持硅芯线(5)的空洞(21)。在硅芯线(5)的表面通过西门子法使多晶硅(6)进行气相生长,进行多晶硅棒的制造。在开口部(22)附近的圆锥台状斜面上从开口部附近的外周面朝向空洞(21)形成有环状狭缝(23a~c)作为绝热层。该环状狭缝作为绝热部(绝热层)发挥作用,抑制来自硅芯线(5)或多晶硅(6)的传导热及辐射热向金属电极的逸散,并对芯线支架(20)的一端侧进行加热。
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公开(公告)号:CN102985364A
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201180029911.1
申请日:2011-03-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
CPC classification number: F26B5/042 , B08B3/04 , B08B3/10 , C01B33/035 , C23C16/4407 , F26B5/12 , F28G13/00
Abstract: 钟罩具备金属性钟罩(1)和用于设置该钟罩(1)的金属性基板(2),通过填料(3)使容器内部密闭。在基板(2)上连接压力计(4)、气体导入管路(5)、气体排气管路(6),使钟罩(1)的内部压力的监测以及气体的导入和排气成为可能。在气体排气管路(6)的路线上设置真空泵(7),通过该真空泵(7),以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压。通过该真空泵(7),以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压,由此有效地进行水分除去,在短时间内结束钟罩的干燥。通过本发明,提供提高钟罩内表面的清洁度从而有助于高纯度多晶硅的制造的技术。
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公开(公告)号:CN105440143B
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:CN201510608311.0
申请日:2015-09-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08B11/193 , C08B11/02 , C08B11/06 , C08B1/08
Abstract: 本发明提供了一种高效连续制备含降低的量的不可溶组分的纤维素醚的方法。具体地说,所述方法包括在除热溶剂存在下使浆粕与碱金属氢氧化物溶液接触以获得碱纤维素的接触步骤;使所述碱纤维素与醚化试剂反应的反应步骤;反应完成后,部分冷凝存在于反应容器中的气体以用于反应将该气体分离为气体组分和液体组分并回送一些或所有气体组分到接触步骤从而作为一些或所有除热溶剂再利用的部分冷凝步骤;以及焚烧所述液体组分以及当并非所有气体组分回送到接触步骤时,焚烧所述气体组分的残余物的步骤。
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公开(公告)号:CN102666380B
公开(公告)日:2014-04-09
申请号:CN201080049198.2
申请日:2010-10-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , H01L21/203
CPC classification number: C23C16/458 , C01B32/225 , C01B33/035 , C23C16/24
Abstract: 本发明提供在多晶硅棒气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生具有很好抑制效果的技术。碳电极(30)的上部电极(31)的上表面侧设有保持硅芯线(5a)的芯线固定器(20)的固定部。上部电极(31)上设有从上表面(33)向下表面(34)贯穿的孔部(贯通孔)(35),作为棒状连结部件的螺栓(36)经由垫圈(37)从上部电极(31)上表面(33)插入该孔部(35),在下部电极(32)被螺纹固定。孔部(35)内与螺栓(36)的直杆部之间的间隙(51),使上部电极(31)可以在与下部电极(32)的上表面的接触面即载置面(图2中为与上部电极31的下表面34相接触的下部电极32的上表面)的面内全方位移动,从而在气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生起到抑制效果。
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公开(公告)号:CN101565185B
公开(公告)日:2012-09-26
申请号:CN200910132968.9
申请日:2009-04-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , C30B29/06
CPC classification number: C01B33/03 , C01B33/035
Abstract: 本发明提供一种多晶硅棒的制造方法,其中,在制造硅棒时,使用从通过CZ法或FZ法培育而成的单晶硅锭切出的硅部件(单晶硅棒)作为芯线。具体而言,从切去单晶硅锭(10)的肩部(10s)和尾部(10t)而得到的主体部(10b)切出平板状硅(11),进而,切割成长条形而得到硅棒(芯线)(12)。在结晶生长轴方位为 的情况下,晶体习性线(h1~h4)为四根,硅棒(芯线)(12)按照其面与晶体习性线形成特定范围的偏角θ的方式切出。根据本发明,能够提供以现有方法无法得到的低杂质污染(高纯度)的多晶硅棒及单晶化效率高的FZ用多晶硅棒。
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