Patent search ap:("凸版印刷株式会社") AND inv:"田中幸一" Page 1

1.

发明公开
薄膜晶体管以及薄膜晶体管的制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN116783714A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202280011292.1

申请日：2022-02-07

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 今村千寻 , 伊藤学 , 田中幸一

IPC: H01L29/786

Abstract: 栅极绝缘层由第一栅极绝缘膜(21)和第二栅极绝缘膜(22)构成，所述第一栅极绝缘膜(21)覆盖支撑面的第二部分和栅极电极层且由有机高分子化合物构成，所述第二栅极绝缘膜(22)被第一栅极绝缘膜(21)和半导体层(13)夹持且由无机硅化合物构成。第二栅极绝缘膜(22)的厚度为2nm以上且30nm以下，第二栅极绝缘膜(22)的氢含量为5at％以上且13at％以下，由此可提高针对柔性基板的弯曲的薄膜晶体管的电耐久性。

Patent Agency Ranking