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公开(公告)号:CN118424134A
公开(公告)日:2024-08-02
申请号:CN202410660734.6
申请日:2024-05-27
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请公开了一种点剪切散斑干涉方法及装置。该方法包括:构建点剪切散斑干涉光路,所述点剪切散斑干涉光路用于实现点剪切散斑干涉;对所述点剪切散斑干涉光路进行信号采集和处理,得到点剪切散斑干涉信号;根据所述点剪切散斑干涉信号,确定点剪切散斑干涉的相位。本申请提供的技术方案可测量经过物面漫反射后的点剪切散斑干涉信号的相位值,另外可以利用相位值与物面形变的几何关系应用于物面的面内形变量和面外形变量测量,大幅提高了测量速度,使得该方法可以适应工业现场中需要及时反馈形变误差的需求。
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