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公开(公告)号：CN115230026A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210869394.9
申请日：2022-07-21
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种二维材料增强的自润滑镍模仁的超声电铸加工方法。具体工艺方法为:硫化镍珠作为阳极材料，硅片作为阴极沉积基底，二维材料作为增强相，十二烷基硫酸钠作为表面活性剂；首先将水般二维材料与表面活性剂搅拌混合，随后将其与电铸液搅拌混合，最后进行电铸工艺。在电铸期间，电铸液进行机械和超声复合搅拌，镍离子和二维材料通过氧化还原和吸附的方式共沉积到阴极表面，最后将沉积层从基底上剥离下来得到二维材料复合镍模仁。该发明使用成本低廉，工艺简单的电铸加工方法可以得到永久自润滑的镍基复合模仁，对于解决聚合物微纳米结构微注塑成型过程中聚合物与模仁表面接触摩擦粘连导致聚合物变形、微结构损坏等问题具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN115180589A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210864922.1
申请日：2022-07-21
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造方法。本发明的一种制造方法，顺序包括电子束光刻、原子层沉积、电铸、模具脱模、金属薄膜腐蚀、纳米压印、聚合物功能器件的脱模步骤；本发明的另一种制造方法，顺序包括光刻、原子层沉积、选择性刻蚀、除胶、硅刻蚀、侧墙刻蚀、原子层沉积、电铸、模具脱模、腐蚀、纳米压印、聚合物功能器件的脱模步骤。本发明结合电子束光刻对纳米级结构的极限加工能力、原子层沉积技术的原子级厚度可控沉积与电铸技术原子顺序电沉积的优势，通过多种微纳制造技术的叠加，突破现存半导体加工技术的极限，在纳米结构的基础上实现更小尺度结构的精准制造，也就是面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造。
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公开(公告)号：CN115125589A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210869378.X
申请日：2022-07-21
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积纳米结构滚筒模具的低成本制造方法。具体步骤为：空心圆柱铝材机加工；对空心圆柱铝材内壁进行机械抛光；对空心圆柱铝材内壁进行电化学镜面抛光；对抛光后的空心圆柱铝材内壁进行阳极氧化以制备纳米孔阵列结构；准备一个抛光后的金属实心滚筒同轴放置于阳极氧化后的空心圆柱铝材内部，使得金属实心滚筒和空心圆柱铝材内壁保持一定的微小间隙并同时作为阴极，进行电铸工艺；将空心圆柱铝腐蚀掉便可以得到具有大面积纳米结构的滚筒模具。本发明通过灵巧设计滚筒模具的电铸将阳极氧化形成的纳米孔电铸层与滚筒电铸层无缝弥合形成一体化滚筒模具，实现了大面积纳米结构、无接缝一体化滚筒镍模具的低成本制造。
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公开(公告)号：CN115180589B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202210864922.1
申请日：2022-07-21
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造方法。本发明的一种制造方法，顺序包括电子束光刻、原子层沉积、电铸、模具脱模、金属薄膜腐蚀、纳米压印、聚合物功能器件的脱模步骤；本发明的另一种制造方法，顺序包括光刻、原子层沉积、选择性刻蚀、除胶、硅刻蚀、侧墙刻蚀、原子层沉积、电铸、模具脱模、腐蚀、纳米压印、聚合物功能器件的脱模步骤。本发明结合电子束光刻对纳米级结构的极限加工能力、原子层沉积技术的原子级厚度可控沉积与电铸技术原子顺序电沉积的优势，通过多种微纳制造技术的叠加，突破现存半导体加工技术的极限，在纳米结构的基础上实现更小尺度结构的精准制造，也就是面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造。
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