公开(公告)号：CN110686617B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201911158883.8

申请日：2019-11-22

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  胡摇 ,  陶鑫 ,  宁悦文

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/255 ,  G01B11/02

Abstract: 结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统，通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统，不需要搭建复杂的激光差动共焦系统，避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、精度高的测量，具有结构简单、装调方便的优点。

公开(公告)号：CN110686618B

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN201911159776.7

申请日：2019-11-22

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  胡摇 ,  陶鑫 ,  宁悦文

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/255 ,  G01B11/02

Abstract: 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统，通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统，不需要搭建复杂的激光差动共焦系统，避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、精度高的测量，具有结构简单、装调方便的优点。

公开(公告)号：CN110686617A

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201911158883.8

申请日：2019-11-22

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  胡摇 ,  陶鑫 ,  宁悦文

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/255 ,  G01B11/02

Abstract: 结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统，通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统，不需要搭建复杂的激光差动共焦系统，避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、精度高的测量，具有结构简单、装调方便的优点。

公开(公告)号：CN110487205B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201910698151.1

申请日：2019-07-31

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 胡摇 ,  郝群 ,  宁悦文 ,  陶鑫

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/16

Abstract: 本发明公开的结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，属于非球面测量领域。本发明实现方法为：获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与色散物镜。根据部分补偿透镜和色散物镜建立结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统。利用非球面参数误差干涉测量系统获得最佳补偿位置变化。测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化四次分量的系数。根据最佳补偿位置距离变化方程和系数方程计算非球面的面形参数误差，即实现对非球面的面形参数误差的测量。本发明能够实现非接触、高精度的位移测量，在测量中无需移动透镜组的位置，具有操作简单、易于测量的优点。

公开(公告)号：CN110686618A

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201911159776.7

申请日：2019-11-22

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  胡摇 ,  陶鑫 ,  宁悦文

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/255 ,  G01B11/02

Abstract: 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统，通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统，不需要搭建复杂的激光差动共焦系统，避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、精度高的测量，具有结构简单、装调方便的优点。

公开(公告)号：CN110487205A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910698151.1

申请日：2019-07-31

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 胡摇 ,  郝群 ,  宁悦文 ,  陶鑫

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/16

Abstract: 本发明公开的结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，属于非球面测量领域。本发明实现方法为：获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与色散物镜。根据部分补偿透镜和色散物镜建立结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统。利用非球面参数误差干涉测量系统获得最佳补偿位置变化。测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化四次分量的系数。根据最佳补偿位置距离变化方程和系数方程计算非球面的面形参数误差，即实现对非球面的面形参数误差的测量。本发明能够实现非接触、高精度的位移测量，在测量中无需移动透镜组的位置，具有操作简单、易于测量的优点。