公开(公告)号：CN110491814B

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN201910721870.0

申请日：2019-08-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  曾志坚 ,  林琳 ,  姜峰 ,  陆静 ,  温秋玲 ,  黄辉 ,  崔长彩

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法，工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料‑传送‑下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。

公开(公告)号：CN110491814A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910721870.0

申请日：2019-08-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  曾志坚 ,  林琳 ,  姜峰 ,  陆静 ,  温秋玲 ,  黄辉 ,  崔长彩

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法，工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料-传送-下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。

公开(公告)号：CN210467793U

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201921265201.9

申请日：2019-08-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 曾志坚 ,  胡中伟 ,  林琳 ,  姜峰 ,  陆静 ,  温秋玲 ,  黄辉 ,  崔长彩

IPC: H01L21/677

Abstract: 本实用新型公开了一种工件自动传输装置，包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料-传送-下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利