公开(公告)号：CN110125795A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910542553.2

申请日：2019-06-21

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  林琳 ,  赖志远 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: B24B37/28

Abstract: 本发明提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具及其制作方法，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。应用本技术方案可实现提供游星轮夹具的刚度和强度，减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。

公开(公告)号：CN109333338A

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201811486276.X

申请日：2018-12-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 赖志远 ,  胡中伟 ,  林琳 ,  徐西鹏

IPC: B24B37/27

Abstract: 本发明公开了一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法，包括载片层、驱动层、密封圈和气门芯。该游星轮夹具采用载片层-驱动层-载片层的夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；该密封圈放置于载片层与驱动层内预设的密封圈槽中；该气门芯则螺接于载片层上预设的螺纹孔中。该载片层上圆周分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。上述夹具可在保持生产效率的同时减少传统游星轮夹具由于过薄、翘曲等缺陷引起工件破损现象，从而降低生产成本，适用于薄片工件的加工。

公开(公告)号：CN110491814B

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN201910721870.0

申请日：2019-08-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  曾志坚 ,  林琳 ,  姜峰 ,  陆静 ,  温秋玲 ,  黄辉 ,  崔长彩

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法，工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料‑传送‑下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。

公开(公告)号：CN110491814A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910721870.0

申请日：2019-08-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  曾志坚 ,  林琳 ,  姜峰 ,  陆静 ,  温秋玲 ,  黄辉 ,  崔长彩

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法，工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料-传送-下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。

公开(公告)号：CN210132390U

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201920943007.5

申请日：2019-06-21

Applicant: 华侨大学

Inventor： 林琳 ,  胡中伟 ,  赖志远 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: B24B37/28

Abstract: 本实用新型提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。应用本技术方案可实现提供游星轮夹具的刚度和强度，减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN210467793U

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201921265201.9

申请日：2019-08-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 曾志坚 ,  胡中伟 ,  林琳 ,  姜峰 ,  陆静 ,  温秋玲 ,  黄辉 ,  崔长彩

IPC: H01L21/677

Abstract: 本实用新型公开了一种工件自动传输装置，包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料-传送-下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209477960U

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201822044389.6

申请日：2018-12-06

Applicant: 华侨大学

Inventor： 林琳 ,  胡中伟 ,  赖志远 ,  徐西鹏

IPC: B24B37/27

Abstract: 本实用新型公开了一种真空吸附式游星轮夹具，包括载片层、驱动层、密封圈和气门芯。该游星轮夹具采用载片层-驱动层-载片层的夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；该密封圈放置于载片层与驱动层内预设的密封圈槽中；该气门芯则螺接于载片层上预设的螺纹孔中。该载片层上圆周分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。上述夹具可在保持生产效率的同时大幅减少传统游星轮夹具由于过薄、翘曲等缺陷引起工件破损现象，从而降低生产成本，并且特别适用于薄片工件的加工。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利