一种单芯片白光发光二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111048641A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911044450.X

    申请日:2019-10-30

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种单芯片白光发光二极管,包括:衬底、缓冲层、非掺GaN层、图形化的n型GaN层、多量子阱有源层、电子阻挡层、p型GaN层、红光波长转换材料、电流扩展层、n型与p型欧姆接触电极。通过干法刻蚀技术和湿法腐蚀技术刻蚀n型GaN层,使其形成具有半极性面、非极性面以及极性面的六边形孔洞阵列,在该图形化的n型GaN层上外延生长InGaN多量子阱有源层、电子阻挡层和p型GaN层,发射出蓝光至黄绿光波段的宽光谱;在所述六边形孔洞中填充红光波长转换材料,由量子阱有源区发射的蓝/绿光激发出红光光谱;从而形成全光谱,获得高显色指数的单芯片白光发光二极管。

    一种单芯片白光发光二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111048641B

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN201911044450.X

    申请日:2019-10-30

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种单芯片白光发光二极管,包括:衬底、缓冲层、非掺GaN层、图形化的n型GaN层、多量子阱有源层、电子阻挡层、p型GaN层、红光波长转换材料、电流扩展层、n型与p型欧姆接触电极。通过干法刻蚀技术和湿法腐蚀技术刻蚀n型GaN层,使其形成具有半极性面、非极性面以及极性面的六边形孔洞阵列,在该图形化的n型GaN层上外延生长InGaN多量子阱有源层、电子阻挡层和p型GaN层,发射出蓝光至黄绿光波段的宽光谱;在所述六边形孔洞中填充红光波长转换材料,由量子阱有源区发射的蓝/绿光激发出红光光谱;从而形成全光谱,获得高显色指数的单芯片白光发光二极管。

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