公开(公告)号：CN102364360A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201110341142.0

申请日：2011-11-02

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  伍和云 ,  吕刚 ,  王振华 ,  夏子奂 ,  刘仁臣

IPC: G02B5/20 ,  G01B11/14

Abstract: 本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层。通过测量入射光经过系统后TE0模式或TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的间距，可得到两光栅之间纳米间隙的大小(

公开(公告)号：CN102364360B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201110341142.0

申请日：2011-11-02

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  伍和云 ,  吕刚 ,  王振华 ,  夏子奂 ,  刘仁臣

IPC: G02B5/20 ,  G01B11/14

Abstract: 本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层。通过测量入射光经过系统后TE0模式或TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的间距，可得到两光栅之间纳米间隙的大小(