公开(公告)号：CN119480333A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411662234.2

申请日：2024-11-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘恩硕 ,  樊春光 ,  于旭阳 ,  于程隆 ,  赵勃

IPC: H01F7/02 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提出一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置，属于光刻机技术与超精密测量技术领域，解决了光刻机运动台系统精度低和稳定性差的问题，Halbach永磁阵列包括：若干个阵列单元；每个阵列单元包括两个N级磁钢、两个S级磁钢、16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个六棱柱磁钢和12个长方体磁钢。本发明通过优化设计拓扑结构，采用新型柔性充磁方法，大幅修正现有磁钢阵列的谐波分量畸变、周期性扭曲畸变和峰值波动畸变，使得三种畸变情况都远优于现有磁钢阵列，且周期性畸变几乎完全消除，非扫描方向波动畸变分散程度大幅减小，总谐波畸变率最大可修正至优化前五分之一。

公开(公告)号：CN119382377A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202411492597.6

申请日：2024-10-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 樊春光 ,  何章印 ,  于旭阳 ,  马俊 ,  刘恩硕 ,  于程隆

IPC: H02K3/04 ,  H02K3/28 ,  H02K3/24 ,  H02K9/19 ,  H02K41/02 ,  H02N15/00

Abstract: 本发明提供了一种基于扁平线圈的平面电机动子，具体属于集成电路制造的平面电机技术领域；通过提高线圈槽满率的方式可以提升出力性能的同时，而由于线圈的散热主要通过传导散热，而采用扁平线，也保证线圈的散热能力；并且扁平线圈降低了线圈的电感，对提升设备的响应性能有着重要意义。本发明包括动子框架壳体和扁平线圈模块，还包括磁铁和水冷组件；动子框架壳体内侧开设有水冷管放置槽与线圈组放置槽，水冷管放置槽与线圈组放置槽交错设置有两组，水冷管放置槽内设置有水冷组件，线圈组放置槽内设置有扁平线圈模块，动子框架壳体固定设置在磁铁顶面；扁平线圈模块设置有四组，每组扁平线圈模块由三个扁平线圈构成。