公开(公告)号：CN105181600B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201510556896.6

申请日：2015-09-02

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 陈明君 ,  赵林杰 ,  廖然 ,  郑万国 ,  李省伟 ,  袁晓东 ,  廖威

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/95

Abstract: 一种大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置,涉及一种光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置。解决了对大口径融石英光学元件的微缺陷检测速度慢和定位精确度底的问题。本发明的可微调显微检测单元、二维大行程快速移动装置、Z轴运动装置和激光组件均设置在承载台上，承载台的上表面沿X轴方向设有凹槽，二维大行程快速移动装置设置在承载台凹槽内，可微调显微检测单元和激光组件均设置于Z轴运动装置的平台上，其轴线方向均垂直于二维大行程快速移动装置的侧面。本发明适用于大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复使用。

公开(公告)号：CN105127591B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201510556900.9

申请日：2015-09-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈明君 ,  赵林杰 ,  廖然 ,  郑万国 ,  李省伟 ,  袁晓东 ,  王海军

IPC: G01N33/00 ,  B23K26/08 ,  B23K26/352 ,  G01N21/01

Abstract: 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用垂直放置二维大行程快速移动装置,涉及一种二维大行程快速移动装置。解决了现有光学元件进行激光修复过程中二维大行程快速移动装置三工位的移动速度慢和多次装夹带来的安装误差等问题。X轴伺服电机带动X轴移动导轨在X轴方向直线移动，承重板固定在导轨滑台上，两根立柱和龙门横板构成龙门架结构，两块龙门竖板、龙门肋板和龙门横板围成密闭结构；两根Y轴运动导轨分别固定在两根立柱的内侧，Y轴伺服电机带动其中一根Y轴运动导轨上下移动，承载框体的左右两个边框均固定在两根Y轴运动导轨的导轨滑台上。本发明适用于大口径曲面光学元件表面微缺陷修复使用。

公开(公告)号：CN105181600A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510556896.6

申请日：2015-09-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈明君 ,  赵林杰 ,  廖然 ,  郑万国 ,  李省伟 ,  袁晓东 ,  廖威

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/95

Abstract: 一种大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置,涉及一种光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置。解决了对大口径融石英光学元件的微缺陷检测速度慢和定位精确度底的问题。本发明的可微调显微检测单元、二维大行程快速移动装置、Z轴运动装置和激光组件均设置在承载台上，承载台的上表面沿X轴方向设有凹槽，二维大行程快速移动装置设置在承载台凹槽内，可微调显微检测单元和激光组件均设置于Z轴运动装置的平台上，其轴线方向均垂直于二维大行程快速移动装置的侧面。本发明适用于大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复使用。

公开(公告)号：CN105127591A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510556900.9

申请日：2015-09-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈明君 ,  赵林杰 ,  廖然 ,  郑万国 ,  李省伟 ,  袁晓东 ,  王海军

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/352 ,  G01N21/01

CPC classification number: B23K26/0853 ,  G01N21/01

Abstract: 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用垂直放置二维大行程快速移动装置,涉及一种二维大行程快速移动装置。解决了现有光学元件进行激光修复过程中二维大行程快速移动装置三工位的移动速度慢和多次装夹带来的安装误差等问题。X轴伺服电机带动X轴移动导轨在X轴方向直线移动，承重板固定在导轨滑台上，两根立柱和龙门横板构成龙门架结构，两块龙门竖板、龙门肋板和龙门横板围成密闭结构；两根Y轴运动导轨分别固定在两根立柱的内侧，Y轴伺服电机带动其中一根Y轴运动导轨上下移动，承载框体的左右两个边框均固定在两根Y轴运动导轨的导轨滑台上。本发明适用于大口径曲面光学元件表面微缺陷修复使用。