公开(公告)号：CN101358934B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200810131197.7

申请日：2008-07-30

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 井殿多闻

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01B11/245 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2021/9513 ,  G02B5/223

Abstract: 本发明涉及一种检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法。本发明的检查装置由于具备：条斑检测部，在从第1方向照射光后拍摄排列在检查对象基板上的像素的图像L、与从不同于上述第1方向的第2方向照射光后拍摄上述像素的图像R中，分别检测条斑；特定周期不规则抽取部，在图像L和图像R中，分别在检查对象基板上沿着与条斑垂直的方向，以预定间隔T抽取被检测到的多个条斑；和检测对象不规则抽取部，抽取图像L和图像R双方中被检测到的条斑，作为检测对象条斑，所以可仅检测由于对正常膜厚的像素产生了膜厚差的像素存在而产生的特定周期的条斑。

公开(公告)号：CN102762916A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201180010286.6

申请日：2011-03-08

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 小林章子 ,  南功治 ,  多田野宏之 ,  藤原纪人 ,  井殿多闻 ,  中村笃

IPC: F21S2/00 ,  F21V8/00 ,  G02B6/00 ,  F21Y103/00

CPC classification number: G02B6/0028 ,  F21S8/006 ,  G02B6/0018 ,  G02B6/0038 ,  G02B6/4298

Abstract: 本发明的光源装置是对从光源射出的光进行聚光并将其射出的光源装置，其特征在于，将上述光源配置在反射箱内，上述光源装置包括：多个导光体，该多个导光体是具有面积不同的两个端面的圆柱状或棱柱状；以及光分离单元，上述反射箱上设置有多个开口部，对上述开口部分别设置上述导光体，使该导光体的面积较小的端面向着上述光源，上述光分离单元配置在某个开口部与相邻的其他开口部之间。由此，提供一种以高输出射出方向性强的出射光的小型的光源装置、及使用该光源装置的模拟太阳光照射装置。

公开(公告)号：CN102713414A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080062231.5

申请日：2010-07-06

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 井殿多闻 ,  南功治

IPC: F21S2/00 ,  F21Y103/00

CPC classification number: F21S8/006 ,  F21Y2115/10 ,  G02B6/0026 ,  G02B6/0028 ,  G02B6/007

Abstract: 一种模拟太阳光照射装置（30），包括：具有第一光源（1）及第二光源（2）的光源部；以及光选择单元（7），该光选择单元（7）选择从所述第一光源（1）照射出的第一光中的波长比规定边界波长要短的短波长一侧的光、和从所述第二光源（2）照射出的第二光中的波长比规定边界波长要长的长波长一侧的光并输出，该模拟太阳光照射装置（30）的特征在于，包括控制单元（5、6），该控制单元（5、6）控制所述第一光的指向性或所述第二光的指向性，以便按规定入射角入射到所述光选择单元（7）。由此，无需大型化装置就能照射出按照设计那样的模拟太阳光。

公开(公告)号：CN101466999A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780021551.4

申请日：2007-06-12

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 井殿多闻

IPC: G01B11/26 ,  G01B11/06 ,  G01M11/00 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明提供一种端部倾角测定方法，用于测定具有起伏的被检物的端部倾角，包括：步骤A，对上述被检物进行光照射；步骤B，检测上述被检物的反射光分布；步骤C，根据上述反射光分布的检测结果求取上述反射光分布的特征点；以及步骤D，根据光照射角度和反射光检测角度求取端部倾角，其中，上述光照射角度是在上述步骤A中对上述被检物的与上述特征点对应的位置进行光照射的角度，上述反射光检测角度是在上述步骤B中对被检物的与上述特征点对应的位置的反射光进行检测的角度，上述端部倾角是上述起伏的端部附近的倾角。还提供一种用于求取被检物中起伏端部附近的倾角、即端部倾角的方法，以及根据端部倾角高精度检测各起伏间的起伏厚度差的方法。

公开(公告)号：CN101466997A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780021550.X

申请日：2007-06-12

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 伊藤健二 ,  井殿多闻 ,  村上豪

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01B11/306 ,  G01N2021/556 ,  G01N2021/9513

Abstract: 一种起伏检测装置，具有：照射部(线照明(2))，对被检物实施光照射；光强取得部(区域传感器(3))，取得来自上述被检物表面的光的光强分布；拍摄部(线传感器(4))，仅对来自上述被检物表面的光中的预定的光进行拍摄；调整部(图像处理部(20)和照明驱动控制部(21))，根据上述光强取得部取得的光强分布，对上述照射部(线照明(2))进行调整；以及判断部(缺陷判断处理部(23))，根据经上述调整后的拍摄部的拍摄结果，对被检物表面所形成的起伏状态进行判断。由此，即使是对于大型基板(滤色器基板等)，也可既简单又高精度地对其表面的起伏状态(膜厚差)进行检测。

公开(公告)号：CN101358934A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200810131197.7

申请日：2008-07-30

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 井殿多闻

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01B11/245 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2021/9513 ,  G02B5/223

Abstract: 本发明涉及一种检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法。本发明的检查装置由于具备：条斑检测部，在从第1方向照射光后拍摄排列在检查对象基板上的像素的图像L、与从不同于上述第1方向的第2方向照射光后拍摄上述像素的图像R中，分别检测条斑；特定周期不规则抽取部，在图像L和图像R中，分别在检查对象基板上沿着与条斑垂直的方向，以预定间隔T抽取被检测到的多个条斑；和检测对象不规则抽取部，抽取图像L和图像R双方中被检测到的条斑，作为检测对象条斑，所以可仅检测由于对正常膜厚的像素产生了膜厚差的像素存在而产生的特定周期的条斑。