用于制造信息记录介质的方法

    公开(公告)号:CN108028053A

    公开(公告)日:2018-05-11

    申请号:CN201680054267.6

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 将相同的数字数据以高度集成的方式记录在能够长期持久地保持信息的多个介质上。通过光束曝光在石英玻璃衬底顶部上的抗蚀剂层上绘制指示数据位信息的微小图形图案并进行显影,并通过蚀刻形成包括具有凹陷和凸起结构的石英玻璃衬底的原版介质(M1),在蚀刻中将抗蚀剂层的剩余部分用作掩模(图(a))。使记录在原版介质(M1)上的凹陷和凸起结构成形并转印到形成有UV可固化树脂层(61)的柔性记录介质(G2)上,由此制造中间介质(M2)(图(b)‑(d))。使转印到中间介质(M2)上的翻转凹陷和凸起结构成形并转印到包括石英玻璃衬底(70)且该石英玻璃衬底上形成有UV固化树脂层(80)的记录介质(G3)上,由此制造具有与原版介质(M1)相同的凹陷和凸起结构的复制介质(M3)(图(e)‑(h))。在成形和转印过程中,利用中间介质(M2)的柔性来分离介质。

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