公开(公告)号：CN111212705A

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201880066479.5

申请日：2018-10-12

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 宫坂博仁 ,  立野哲平 ,  松冈立马 ,  栗原浩 ,  三国匠

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种能够在维持高研磨速率的同时减少划痕的产生的研磨垫及其制造方法。所述研磨垫是具备研磨层的研磨垫，所述研磨层具有包含大致球状的气泡的聚氨酯片，在将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(90％)，将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(30％)时，E’(90％)/E’(30％)在0.4～0.7的范围内。

公开(公告)号：CN111212705B

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN201880066479.5

申请日：2018-10-12

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 宫坂博仁 ,  立野哲平 ,  松冈立马 ,  栗原浩 ,  三国匠

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种能够在维持高研磨速率的同时减少划痕的产生的研磨垫及其制造方法。所述研磨垫是具备研磨层的研磨垫，所述研磨层具有包含大致球状的气泡的聚氨酯片，在将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(90％)，将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(30％)时，E’(90％)/E’(30％)在0.4～0.7的范围内。