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发明公开
研磨垫审中-实审

公开(公告)号：CN116887947A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280015016.2

申请日：2022-02-18

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 , 糸山光纪 , 関谷仁志 , 小池坚一 , 高见沢大和

IPC: B24B37/26

Abstract: 本发明可抑制对研磨性能的影响，并且防止由终点检测用窗所得的终点检测精度的降低。研磨垫3包括检查光L1可透过的终点检测用窗12，在研磨垫3的研磨面3A形成有多个同心圆状的环状槽11。所述终点检测用窗12的表面形成于与所述研磨面3A相同的高度，所述环状槽11中，形成于与形成有所述终点检测用窗12的位置相同的半径位置的多个环状槽11A在所述终点检测用窗12的表面未形成有槽，而在所述终点检测用窗12的附近包括端部11a。进而，通过连结槽13将形成于与所述终点检测用窗12相同的半径位置的多个环状槽11A的端部11a与端部11a连接。

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