公开(公告)号：CN112543844B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN201980044651.1

申请日：2019-05-13

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 齐格弗里德·罗尔 ,  尤塞尔·康加尔 ,  马丁·瓦克勒 ,  马丁·里希特 ,  克里斯托夫·库特

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及用于制造微型泵(21)的方法。该方法尤其包括提供衬底(22)的步骤，其中衬底(22)具有用于微型泵(21)的至少一个泵隔膜(27)。此外，提供一种用于移动泵隔膜(27)的隔膜致动器(28)，其中隔膜致动器(28)被布置在根据本发明的保持装置(38)中。以下面的方式相对于衬底(22)对保持装置(38)进行取向：隔膜致动器(28)与泵隔膜(27)相对地布置，并且泵隔膜(27)通过高于环境压力的流体压力(36)在隔膜致动器(28)的方向上偏转。此外，将隔膜致动器(28)安装到泵隔膜(27)。

公开(公告)号：CN112543844A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN201980044651.1

申请日：2019-05-13

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 齐格弗里德·罗尔 ,  尤塞尔·康加尔 ,  马丁·瓦克勒 ,  马丁·里希特 ,  克里斯托夫·库特

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及用于制造微型泵(21)的方法。该方法尤其包括提供衬底(22)的步骤，其中衬底(22)具有用于微型泵(21)的至少一个泵隔膜(27)。此外，提供一种用于移动泵隔膜(27)的隔膜致动器(28)，其中隔膜致动器(28)被布置在根据本发明的保持装置(38)中。以下面的方式相对于衬底(22)对保持装置(38)进行取向：隔膜致动器(28)与泵隔膜(27)相对地布置，并且泵隔膜(27)通过高于环境压力的流体压力(36)在隔膜致动器(28)的方向上偏转。此外，将隔膜致动器(28)安装到泵隔膜(27)。