公开(公告)号：CN107035667B

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN201710064243.5

申请日：2017-02-04

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 马丁·里希特 ,  约瑟·库格尔 ,  克劳斯·海因里希 ,  瓦尔特劳德·希尔 ,  马丁·瓦克勒

IPC: F04B43/04 ,  H02N2/00

Abstract: 本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层(51)。根据本发明，从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状。另外，所述方法包括通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。

公开(公告)号：CN112543844B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN201980044651.1

申请日：2019-05-13

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 齐格弗里德·罗尔 ,  尤塞尔·康加尔 ,  马丁·瓦克勒 ,  马丁·里希特 ,  克里斯托夫·库特

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及用于制造微型泵(21)的方法。该方法尤其包括提供衬底(22)的步骤，其中衬底(22)具有用于微型泵(21)的至少一个泵隔膜(27)。此外，提供一种用于移动泵隔膜(27)的隔膜致动器(28)，其中隔膜致动器(28)被布置在根据本发明的保持装置(38)中。以下面的方式相对于衬底(22)对保持装置(38)进行取向：隔膜致动器(28)与泵隔膜(27)相对地布置，并且泵隔膜(27)通过高于环境压力的流体压力(36)在隔膜致动器(28)的方向上偏转。此外，将隔膜致动器(28)安装到泵隔膜(27)。

公开(公告)号：CN112543844A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN201980044651.1

申请日：2019-05-13

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 齐格弗里德·罗尔 ,  尤塞尔·康加尔 ,  马丁·瓦克勒 ,  马丁·里希特 ,  克里斯托夫·库特

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及用于制造微型泵(21)的方法。该方法尤其包括提供衬底(22)的步骤，其中衬底(22)具有用于微型泵(21)的至少一个泵隔膜(27)。此外，提供一种用于移动泵隔膜(27)的隔膜致动器(28)，其中隔膜致动器(28)被布置在根据本发明的保持装置(38)中。以下面的方式相对于衬底(22)对保持装置(38)进行取向：隔膜致动器(28)与泵隔膜(27)相对地布置，并且泵隔膜(27)通过高于环境压力的流体压力(36)在隔膜致动器(28)的方向上偏转。此外，将隔膜致动器(28)安装到泵隔膜(27)。

公开(公告)号：CN107035667A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710064243.5

申请日：2017-02-04

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 马丁·里希特 ,  库格尔·约瑟 ,  克劳斯·海因里希 ,  瓦尔特劳德·希尔 ,  马丁·瓦克勒

IPC: F04B43/04 ,  H02N2/00

CPC classification number: F04B43/046 ,  F04B45/047 ,  F04B53/16 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/098 ,  H01L41/311 ,  H01L41/338 ,  H02N2/005

Abstract: 本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层(51)。根据本发明，从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状。另外，所述方法包括通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。

公开(公告)号：CN106855429A

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201611124781.0

申请日：2016-12-08

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 马丁·里克特 ,  马丁·瓦克勒 ,  塞巴斯蒂安·库布勒

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/38

CPC classification number: F04B43/046 ,  F04B51/00 ,  F04B53/10 ,  F16K99/0001 ,  F16K2099/0094 ,  G01F11/28 ,  G01F25/0092 ,  G01M3/26 ,  G01F25/0007 ,  G01F1/38

Abstract: 本发明涉及到用于对待分配流体的量进行配量给料的微量配量给料系统(100,300)，其中所述微量配量给料系统(100,300)包括微泵(101)，所述微泵(101)包括入口(102)和出口(103)并且被配置成通过入口(102)吸入待分配流体(104,105,109)并且从所述出口(103)分配所述流体(104,105,109)的至少部分。此外，所述微量配量给料系统(100,300)包括布置于所述入口侧或出口侧上的第一流量传感器(106)，所述第一流量传感器具有开口(107)和流率测量机构(108)，其中所述流率测量机构(108)被配置用来确定穿过此开口(107)的流体(104,105)的流率。额外地，所述微量配量给料系统(100,300)包括用于校准和/或检测所述第一流量传感器(106)的故障的机构(113，313)。