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公开(公告)号：CN118678712A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410993122.9
申请日：2024-07-24
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开了一种新型隧道复合结的硅基叠层钝化接触电池制备方法及其产品，其以单晶硅片作为基体，对基体的一个单面进行制绒，形成正面绒面；在正面绒面上形成正面p+层；对基体的另一个单面进行制绒，形成反面绒面；反面生长表面钝化层和电子遂穿层；生长掺杂或本征单晶硅，形成n+‑poly‑Si层；清洗；分别在正面和反面同时沉积AlOx层和SiNx层；正面沉积MgFx；激光开槽并采用红光激光掺杂；正面生长掺杂或本征单晶硅，退火或POCl3沉积；在正面旋涂或浸渍C60，并进行退火处理；正面沉积钙钛矿层后再生长NiOx薄膜；正面沉积MgFx；使用本发明能制得更加高效的电池。
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