公开(公告)号：CN101203625A

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200680016257.X

申请日：2006-07-21

Applicant: 新明和工业株式会社

Inventor： 岩崎安邦 ,  福田祥慎 ,  宫崎修

IPC: C23C14/56 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C14/564 ,  B01J3/006

Abstract: 本发明提供能够简化冷却用流路的配设结构的真空处理用腔室。本发明的真空处理用腔室，具有多片壁构件(1、2、3、4、11、12、13)，该壁构件(1、2、3、4、11、12、13)的表面的一部分形成接合面，该接合面之间气密接合形成的接合部，将所述多片壁构件(1、2、3、4、11、12、13)加以接合，构成腔室主体(100)的真空处理用腔室，至少一部分接合部(10)，是在接合面内形成沿该接合面延伸的间隙(30、31)，而且该接合面的周围利用焊接气密接合形成间隙内藏型接合部(10)。

公开(公告)号：CN100577861C

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200680016257.X

申请日：2006-07-21

Applicant: 新明和工业株式会社

Inventor： 岩崎安邦 ,  福田祥慎 ,  宫崎修

IPC: C23C14/56 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C14/564 ,  B01J3/006

Abstract: 本发明提供能够简化冷却用流路的配设结构的真空处理用腔室。本发明的真空处理用腔室，具有多片壁构件(1、2、3、4、11、12、13)，该壁构件(1、2、3、4、11、12、13)的表面的一部分形成接合面，该接合面之间气密接合形成的接合部，将所述多片壁构件(1、2、3、4、11、12、13)加以接合，构成腔室主体(100)的真空处理用腔室，至少一部分接合部(10)，是在接合面内形成沿该接合面延伸的间隙(30、31)，而且该接合面的周围利用焊接气密接合形成间隙内藏型接合部(10)。