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公开(公告)号:CN1969217A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580019625.1
申请日:2005-12-28
Applicant: 日本电信电话株式会社
Abstract: 一种反射镜器件,包括:被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153);被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103-1至103-4);以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的抗静电结构(106)。该结构能够通过向抗静电结构(106)施加第二电势,来固定该反射镜(153)下表面的电势,并抑制该反射镜(153)的漂移。
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公开(公告)号:CN100451725C
公开(公告)日:2009-01-14
申请号:CN200580019625.1
申请日:2005-12-28
Applicant: 日本电信电话株式会社
Abstract: 一种反射镜器件,包括:被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153);被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103-1至103-4);以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的抗静电结构(106)。该结构能够通过向抗静电结构(106)施加第二电势,来固定该反射镜(153)下表面的电势,并抑制该反射镜(153)的漂移。
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