公开(公告)号：CN102473745A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080033667.1

申请日：2010-07-29

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 松井雄志 ,  南谦一

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  C23C16/40

CPC classification number: H01L31/0392 ,  C23C16/407 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供具有与现有的太阳能电池用透明导电性基板相同程度的高雾度并且氧化锡层的400nm左右的波长范围的光的吸收量少的太阳能电池用透明导电性基板。本发明的太阳能电池用透明导电性基板是在衬底上从所述衬底侧起依次至少具有氧化硅层和氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板，其中，在所述氧化硅层和氧化锡层之间的所述氧化硅层之上具有由氧化锡构成的不连续的凸部和由实质上不含有氧化锡的氧化物构成的结晶性薄膜。