公开(公告)号：CN102473742A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080033745.8

申请日：2010-07-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 松井雄志 ,  加藤利通

IPC: H01L31/0236 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0392

CPC classification number: H01L31/03921 ,  C23C16/405 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/24521

Abstract: 本发明提供能够提高填充因子(FF)和开路电压(VOC)的太阳能电池用透明导电性基板及使用其的太阳能电池。本发明的太阳能电池用透明导电性基板为在衬底上至少具有氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板，其中，在上述氧化锡层的非上述衬底侧的表面上具有凹凸，在具有上述凹凸的表面上具有以钛为主成分的氧化物，上述氧化物是平均直径为1～100nm的粒状，且以密度为10～100个/μm2的比例具有上述氧化物。

公开(公告)号：CN101310391A

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200680042742.4

申请日：2006-11-09

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 松井雄志

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

CPC classification number: H01L31/022466 ,  H01L31/02168 ,  Y10T428/26

Abstract: 本发明提供氧化锡层的电阻小且氧化锡层的近红外光的吸收量少的太阳能电池用透明导电性基板。它是基体上从所述基体侧开始至少依次具备氧化硅层以及与该氧化硅层邻接的多层层叠的氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板，其中，所述多层层叠的氧化锡层中，至少分别具有1层掺杂了氟的氧化锡层和未掺杂氟的氧化锡层。

公开(公告)号：CN100595933C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200680042742.4

申请日：2006-11-09

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 松井雄志

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

CPC classification number: H01L31/022466 ,  H01L31/02168 ,  Y10T428/26

Abstract: 本发明提供氧化锡层的电阻小且氧化锡层的近红外光的吸收量少的太阳能电池用透明导电性基板。它是基体上从所述基体侧开始至少依次具备氧化硅层以及与该氧化硅层邻接的多层层叠的氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板，其中，所述多层层叠的氧化锡层中，至少分别具有1层掺杂了氟的氧化锡层和未掺杂氟的氧化锡层。

公开(公告)号：CN102473745A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080033667.1

申请日：2010-07-29

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 松井雄志 ,  南谦一

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  C23C16/40

CPC classification number: H01L31/0392 ,  C23C16/407 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供具有与现有的太阳能电池用透明导电性基板相同程度的高雾度并且氧化锡层的400nm左右的波长范围的光的吸收量少的太阳能电池用透明导电性基板。本发明的太阳能电池用透明导电性基板是在衬底上从所述衬底侧起依次至少具有氧化硅层和氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板，其中，在所述氧化硅层和氧化锡层之间的所述氧化硅层之上具有由氧化锡构成的不连续的凸部和由实质上不含有氧化锡的氧化物构成的结晶性薄膜。