公开(公告)号：CN1171241C

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：CN00803600.4

申请日：2000-02-10

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 藤野正美 ,  佐藤一夫 ,  光井彰 ,  竹田谕司 ,  堀江则俊

IPC: H01B1/06 ,  H01B5/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01B1/06 ,  C23C14/0641

Abstract: 含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属、耐热性好的导电性氮化物膜及其制备方法，以及用该导电性氮化物膜的防反射体。

公开(公告)号：CN1340201A

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：CN00803600.4

申请日：2000-02-10

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 藤野正美 ,  佐藤一夫 ,  光井彰 ,  竹田谕司 ,  堀江则俊

IPC: H01B1/06 ,  H01B5/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01B1/06 ,  C23C14/0641

Abstract: 含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属、耐热性好的导电性氮化物膜及其制备方法,以及用该导电性氮化物膜的防反射体。