公开(公告)号：CN1276259A

公开(公告)日：2000-12-13

申请号：CN00118178.5

申请日：2000-04-28

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 跡边仁志 ,  金子虎一 ,  早坂裕二 ,  矢野慎一

IPC: B01D53/68 ,  B01D53/86 ,  B01J21/16 ,  B01J23/02

CPC classification number: Y02C20/30

Abstract: 用于分解氟化合物的反应剂,包含矾土和一种碱土金属化合物;用于分解氟化合物的方法,包括使该反应剂与氟化合物在200℃或以上的温度下接触;和用于制造半导体器件的方法,包括刻蚀或清洗和使用该反应剂所进行的分解。

公开(公告)号：CN1192820C

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：CN02105311.1

申请日：2002-02-22

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 冈正和 ,  矢野慎一 ,  浅贺直树

IPC: B01J23/42 ,  B01J32/00 ,  B01J27/12 ,  B01D53/62 ,  B01D53/94

CPC classification number: Y02A50/2341

Abstract: 本发明提供了一种即便是在含有热分解性氟烃或酸性成分的气体的处理中使用，劣化也少的氧化催化剂和使用氧化催化剂的氧化方法。本发明的氧化催化剂的特征在于由氟化率为30～95%的氧化铝载体上负载有贵金属，特别是铂。

公开(公告)号：CN1195573C

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN00118178.5

申请日：2000-04-28

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 跡边仁志 ,  金子虎一 ,  早坂裕二 ,  矢野慎一

IPC: B01D53/68 ,  B01D53/86 ,  B01J21/16 ,  B01J23/02

CPC classification number: Y02C20/30

Abstract: 用于分解氟化合物的反应剂，包含矾土和一种碱土金属化合物；用于分解氟化合物的方法，包括使该反应剂与氟化合物在200℃或以上的温度下接触；和用于制造半导体器件的方法，包括刻蚀或清洗和使用该反应剂所进行的分解。

公开(公告)号：CN1382524A

公开(公告)日：2002-12-04

申请号：CN02105311.1

申请日：2002-02-22

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 冈正和 ,  矢野慎一 ,  浅贺直树

IPC: B01J23/42 ,  B01J32/00 ,  B01J27/12 ,  B01D53/62 ,  B01D53/94

CPC classification number: Y02A50/2341

Abstract: 本发明提供了一种即便是在含有热分解性氟烃或酸性成分的气体的处理中使用,劣化也少的氧化催化剂和使用氧化催化剂的氧化方法。本发明的氧化催化剂的特征在于由氟化率为30～95%的氧化铝载体上附载有贵金属,特别是铂。