公开(公告)号：CN1883060A

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN200480033965.5

申请日：2004-10-22

Applicant: 普林斯顿大学理事会

Inventor： M·施泰因 ,  S·R·福里斯特 ,  J·米歇尔斯

IPC: H01L51/40 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  H01L51/0013 ,  H01L51/0081

Abstract: 本发明提供一种沉积有机材料的方法。在至少为载气的热速度的10％的流速下，从喷嘴中喷射出携带有机材料的载气，以便有机材料沉积在基底上。在一些实施方案中，在喷射过程中，在喷嘴与包围着载气的基底之间的区域内的动压力为至少1Torr，更优选10Torr。在一些实施方案中，本底压力为至少约10e－3Torr，更优选约0.1Torr，更优选约1Torr，更优选约10Torr，更优选约100Torr，和最优选约760Torr。本发明还提供一种器件。该器件包括喷嘴，所述喷嘴进一步包括具有第一排气孔和第一气体进口的喷嘴管道；和围绕喷嘴管道的夹套，所述夹套具有第二排气孔和第二气体进口。第二排气孔完全围绕第一管道孔。载气源和有机源容器可与第一气体进口相连。保护流体气体源可与第二气体进口相连。该器件可包括这样的喷嘴的排列。