公开(公告)号：CN105842202A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610289485.X

申请日：2016-05-03

Applicant: 暨南大学

Inventor： 余健辉 ,  陈哲 ,  周俊杰 ,  冯凯 ,  谢梦圆 ,  梁富念 ,  赵晓萌 ,  罗云瀚

IPC: G01N21/49 ,  G01N21/958

CPC classification number: G01N21/49 ,  G01N21/958

Abstract: 本发明公开一种多通道的光学元件表面颗粒散射测量系统，包括置放待测元件的光学平台、光电检测模块、驱动模块、激光器阵列、计算机，所述激光器阵列包括若干路激光器，所述激光器阵列倾斜聚焦照射到放置在光学平台的光学元件的表面上，所述光电检测模块与计算机连接，所述计算机与驱动模块连接，所述驱动模块与激光器阵列连接，所述光电检测模块接收光学元件产生的散射光信号并将之转化为电信号后输入计算机，计算机接收光电检测模块发送的电信号，控制驱动模块带动激光器阵列移动，进行扫描检测，最终在计算机生成一张由检测的散射光信号得到的散射强度分布图，以实现对光学元件表面颗粒的定位，光学元件表面的污染程度分级。